超精加工是采用裝在振動(dòng)頭上的細(xì)粒度油石對(duì)精加工表面進(jìn)行精整加工。砂帶磨削是采用高速運(yùn)轉(zhuǎn)的環(huán)形砂帶加工工件表面的磨削。鏡面磨削是達(dá)到表面粗糙度的磨削方法。磨削后的工件，表面粗糙度不大于0.01微米，光如鏡面，可以清晰成像。精密加工在制造業(yè)中處于十分重要的地位，常用于精密絲杠、精密齒輪、精密蝸輪、精密導(dǎo)軌和精密軸承等關(guān)鍵零件的加工。

精密加工工藝是指加工精度以及表面光潔程度高于各相應(yīng)加工方法精加工的各種加工工藝。精密切削加工是依靠精度高、剛性好的機(jī)床和精細(xì)刃磨的刀具用很高或極低的切削速度、很小的切深和進(jìn)給量在工件表面切去極薄一層金屬的過程，顯然，這個(gè)過程能顯著提高零件的加工精度。

由于切削過程殘留面積小，又限度地排除了切削力、切削熱和振動(dòng)等的不利影響，因此能有效地去除上道工序留下的表面變質(zhì)層，加工后表面基本上不帶有殘余拉應(yīng)力，粗糙度也大大減小，極大地提高了加工表面質(zhì)量。高光潔高精度磨削包括精密磨削、超精密磨削和鏡面磨削。

20世紀(jì)60年代為了適應(yīng)核能、大規(guī)模集成電路、激光和航天等技術(shù)的需要而發(fā)展起來的精度的加工技術(shù)。超精密加工的精度比傳統(tǒng)的精密加工提高了一個(gè)以上的數(shù)量級(jí)。到20世紀(jì)80年代，加工尺寸精度可達(dá)10納米(1×10-8米)，表面粗糙度達(dá)1納米。