高光潔高精度磨削同樣要求機床有很高的精度和剛性，磨削過程是用經(jīng)精細修整的砂輪，使每個磨粒上產(chǎn)生多個等高的微切削刃，以很小的磨削深度，在適當?shù)哪ハ鲏毫ο拢瑥墓ぜ砻媲邢潞芪⒓毜那行技由衔⑶邢魅谐饰偁顟B(tài)時的滑擦，擠壓、撫平作用和多次無進給光磨階段的摩擦拋光作用，從而獲得很高的加工精度和物理機械性能良好的高光潔表面。綜上所述，采用精密加工工藝可提高工件的加工精度和表面質(zhì)量。

超精密加工是處于發(fā)展中的跨學(xué)科綜合技術(shù)。20 世紀 50 年代至 80 年代為技術(shù)開創(chuàng)期。20 世紀 50 年代末，出于航天、國防等技術(shù)發(fā)展的需要，美國率先發(fā)展了超精密加工技術(shù)，開發(fā)了金剛石刀具超精密切削——單點金剛石切削(Single point diamond turning，SPDT)技術(shù)，又稱為“微英寸技術(shù)”，用于加工激光核聚變反射鏡、戰(zhàn)術(shù)導(dǎo)彈及載人飛船用球面、非球面大型零件等。

20世紀60年代為了適應(yīng)核能、大規(guī)模集成電路、激光和航天等技術(shù)的需要而發(fā)展起來的精度的加工技術(shù)。超精密加工的精度比傳統(tǒng)的精密加工提高了一個以上的數(shù)量級。到20世紀80年代，加工尺寸精度可達10納米(1×10-8米)，表面粗糙度達1納米。

傳統(tǒng)的機械加工方法(普通加工)與精密和超精密加工方法一樣。隨著新技術(shù)、新工藝、新設(shè)備以及新的測試技術(shù)和儀器的采用，其加工精度都在不斷地提高。

加工精度的不斷提高，反映了加工工件時材料的分割水平不斷由宏觀進入微觀世界的發(fā)展趨勢。隨著時間的進展，原來認為是難以達到的加工精度會變得相對容易。因此，普通加工、精密加工和超精密加工只是一個相對概念?其間的界限隨著時間的推移不斷變化。精密切削與超精密加工的典型代表是金剛石切削。