高光潔高精度磨削同樣要求機(jī)床有很高的精度和剛性，磨削過(guò)程是用經(jīng)精細(xì)修整的砂輪，使每個(gè)磨粒上產(chǎn)生多個(gè)等高的微切削刃，以很小的磨削深度，在適當(dāng)?shù)哪ハ鲏毫ο?，從工件表面切下很微?xì)的切屑加上微切削刃呈微飩狀態(tài)時(shí)的滑擦，擠壓、撫平作用和多次無(wú)進(jìn)給光磨階段的摩擦拋光作用，從而獲得很高的加工精度和物理機(jī)械性能良好的高光潔表面。綜上所述，采用精密加工工藝可提高工件的加工精度和表面質(zhì)量。

20世紀(jì)60年代為了適應(yīng)核能、大規(guī)模集成電路、激光和航天等技術(shù)的需要而發(fā)展起來(lái)的精度的加工技術(shù)。超精密加工的精度比傳統(tǒng)的精密加工提高了一個(gè)以上的數(shù)量級(jí)。到20世紀(jì)80年代，加工尺寸精度可達(dá)10納米(1×10-8米)，表面粗糙度達(dá)1納米。

這些方法的特點(diǎn)是對(duì)表面層物質(zhì)去除或添加的量可以作極細(xì)微的控制。但是要獲得超精密的加工精度，仍有賴于精密的加工設(shè)備和的控制系統(tǒng)，并采用超精密掩膜作中介物。例如超大規(guī)模集成電路的制版就是采用電子束對(duì)掩膜上的光致抗蝕劑（見(jiàn)光刻）進(jìn)行曝射，使光致抗蝕劑的原子在電子撞擊下直接聚合(或分解)，再用顯影劑把聚合過(guò)的或未聚合過(guò)的部分溶解掉，制成掩膜。電子束曝射制版需要采用工作臺(tái)定位精度高達(dá)±0.01微米的超精密加工設(shè)備。

刀具方面，采用金剛石砂輪，控制背吃刀量和進(jìn)給量，在超精密磨床上，可以進(jìn)行延性方式磨削，即納米磨削。即使是玻璃的表面也可以獲得光學(xué)鏡面。2精密加工和超精密加工的發(fā)展趨勢(shì)從長(zhǎng)遠(yuǎn)發(fā)展的觀點(diǎn)來(lái)看，制造技術(shù)是當(dāng)前世界各國(guó)發(fā)展國(guó)民經(jīng)濟(jì)的主攻方向和戰(zhàn)略決策，是一個(gè)國(guó)家經(jīng)濟(jì)發(fā)展的重要手段之一，同時(shí)又是一個(gè)國(guó)家獨(dú)立自主、繁榮昌盛、經(jīng)濟(jì)上持續(xù)穩(wěn)定發(fā)展、科技上保持的長(zhǎng)遠(yuǎn)大計(jì)。