流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對于氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制；氣體質(zhì)量流量計（Mass Flow Meter縮寫為MFM）用于對于氣體的質(zhì)量流量進行精密測量。擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細管測量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工，冶金，制藥等。特點：精度高，重復(fù)性好。