有機(jī)污染包括光刻膠、有機(jī)溶劑殘留物、合成蠟和人接觸器件、工具、器皿帶來(lái)的油脂或纖維。無(wú)機(jī)污染包括重金屬金、銅、鐵、鉻等，嚴(yán)重影響少數(shù)載流子壽命和表面電導(dǎo)；堿金屬如鈉等，引起嚴(yán)重漏電；顆粒污染包括硅渣、塵埃、、微生物、有機(jī)膠體纖維等，會(huì)導(dǎo)致各種缺陷。清除污染的方法有物理清洗和化學(xué)清洗兩種。

物理清洗有三種方法。①刷洗或擦洗:可除去顆粒污染和大多數(shù)粘在片子上的薄膜。②高壓清洗：是用液體噴射片子表面，噴嘴的壓力高達(dá)幾百個(gè)大氣壓。高壓清洗靠噴射作用，片子不易產(chǎn)生劃痕和損傷。但高壓噴射會(huì)產(chǎn)生靜電作用，靠調(diào)節(jié)噴嘴到片子的距離、角度或加入防靜電劑加以避免。③超聲波清洗：超聲波聲能傳入溶液,靠氣蝕作用洗掉片子上的污染。但是,從有圖形的片子上除去小于 1微米顆粒則比較困難。將頻率提高到超高頻頻段，清洗效果更好。

廢品回收，一種有償性的廢品處理生活服務(wù)，由專業(yè)正規(guī)的廢品回收站或公司進(jìn)行收購(gòu)，之后對(duì)廢品進(jìn)行科學(xué)處理及分類以達(dá)到再次循環(huán)利用的標(biāo)準(zhǔn)。廢品回收對(duì)保護(hù)環(huán)境、節(jié)約能源和帶動(dòng)社會(huì)效益起積極作用 [1] 。

廢品回收，一種有償性的廢品處理生活服務(wù)，由專業(yè)正規(guī)的廢品回收站或公司進(jìn)行收購(gòu)。之后對(duì)廢品的科學(xué)處理及分類達(dá)到再次循環(huán)利用的標(biāo)準(zhǔn)，廢品回收這項(xiàng)服務(wù)對(duì)保護(hù)環(huán)境、節(jié)約能源和帶動(dòng)社會(huì)效益起著積極的作用。專業(yè)正規(guī)的廢品公司不僅可以增加企業(yè)公司的效益，更能對(duì)社會(huì)帶來(lái)節(jié)約成本的效果，同時(shí)也能為環(huán)境作出貢獻(xiàn)。