在無塵車間工程設(shè)計(jì)過程中,應(yīng)根據(jù)該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程,并結(jié)合其具體的生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據(jù)該工程的具體情況,同時(shí)還要考慮到生產(chǎn)廠家的經(jīng)濟(jì)承受能力,綜合各種因素來確定采用何種凈化方案,這樣才可設(shè)計(jì)出一個(gè)能滿足甲方生產(chǎn)使用要求、工程造價(jià)合理、經(jīng)濟(jì)節(jié)能實(shí)用的方案。
凈化車間也叫無塵車間、潔凈室、無塵室;是指把一定空間范圍內(nèi)的空氣之中的微粒子、有害氣體、等之污物除去,并且把室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度和氣流分布、噪音震動(dòng)以及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),給予特別設(shè)計(jì)的房間。也即是無論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)都能具備保持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度以及壓力等性能之特性。
凈化車間每立方米把小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,便達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級。目前運(yùn)用于芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級比較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制于每立方米1000個(gè)之內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別凈化車間。
潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、等污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。