這類潔凈室的潔凈等級也有1～9級，氣流組織形式有單向流、非單向流、混分流、矢量流，根據(jù)車間的情況和生產(chǎn)工藝要求，選用不同的氣流組織。其中1～5級氣流流型為單向流或混合流，風(fēng)速0.2～0.45m/s；6級氣流流型為非單向流，換氣次數(shù)50～60次/h；7級氣流流型為非單向流，換氣次數(shù)15～25次/h；8～9級氣流流型為非單向流，換氣次數(shù)10～15次/h。

十萬級凈化車間標(biāo)準(zhǔn)

十萬級凈化車間標(biāo)準(zhǔn)一：塵粒大允許數(shù)≥微米的粒子數(shù)不超過350萬個，≥5微米的粒子數(shù)不超過2萬個。

十萬級凈化車間標(biāo)準(zhǔn)二：微生物大允許數(shù)，浮游菌數(shù)不超過500個/m；沉降菌數(shù)不超過10個/培養(yǎng)皿。

十萬級凈化車間標(biāo)準(zhǔn)三：壓差。相同潔凈等級的潔凈室壓差保持一致，對于不同潔凈等級的相鄰潔凈室之間壓差要≥5Pa，潔凈室與非潔凈室之間要≥10Pa（主要是為了保障空氣從潔凈區(qū)流向非潔凈區(qū)，避免氣流倒灌）。

無塵車間是指操控產(chǎn)品(如硅片)所暴露的大氣的清潔度和溫度濕度，以便產(chǎn)品可以在良好的環(huán)境中出產(chǎn)和制造。這個環(huán)境空間的設(shè)計和制作進程可以稱為凈化工程。

針對無塵車間凈化空調(diào)體系的加濕問題，有許多常用的加濕辦法，包括噴水、濕膜、高壓噴霧超聲波等水加濕。這些加濕辦法歸于等焓加濕進程。

現(xiàn)在無塵車間在航空航天機艙中排高，基本上歸于一級，歸于面積相對較小的特殊領(lǐng)域。

此外，生化實驗室和高精度納米材料出產(chǎn)車間對等級要求較高。物聯(lián)網(wǎng)芯片的開展將是未來需求的主要方向。

青島凈化車間還可以考慮空調(diào)的要求，如室內(nèi)溫濕度的均勻性均和工作人員的舒適性要求。