一般要經(jīng)過初效過濾、中效過濾、過濾等三個過濾段，氣流→初效凈化→加濕段→加熱段→表熱段→表冷段→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→凈化風(fēng)口→吹入房間帶走塵埃等顆粒→回風(fēng)百葉窗→初效凈化重復(fù)以上過程，即可達(dá)到凈化目的。

風(fēng)系統(tǒng)：新風(fēng)經(jīng)洗凈，初過濾，中過濾與回風(fēng)混合后進(jìn)人空凋器，空凋器按潔凈車間的熱、濕負(fù)荷需求處理約20％的循環(huán)風(fēng)量，空調(diào)器出風(fēng)與經(jīng)循環(huán)風(fēng)機(jī)箱的回風(fēng)再次混合至出風(fēng)溫度，回風(fēng)經(jīng)潔凈室專用回風(fēng)地板，通過1.5米深的回風(fēng)層，回至空調(diào)器/循環(huán)風(fēng)機(jī)箱。

水系統(tǒng)：由新設(shè)的二次泵將二次冷水在空調(diào)器、冷水槽之間循環(huán)。

冷熱水系統(tǒng)設(shè)置三通閥根據(jù)回水溫度感知潔凈車間的負(fù)荷變化，為系統(tǒng)提供適合的冷熱量。

過濾系統(tǒng)(包括、中效、初效過濾器)設(shè)置壓差控制裝置以便適時更換阻力過大的過濾裝置。

蒸汽加濕器設(shè)置控制系統(tǒng)，根據(jù)潔凈車間的濕度變化控制進(jìn)入加濕器蒸汽量。

系統(tǒng)連鎖控制：基本控制是當(dāng)風(fēng)機(jī)停止時，所有的水閥、風(fēng)閥隨即關(guān)閉。

現(xiàn)在無塵車間在航空航天機(jī)艙中排高，基本上歸于一級，歸于面積相對較小的特殊領(lǐng)域。

此外，生化實(shí)驗(yàn)室和高精度納米材料出產(chǎn)車間對等級要求較高。物聯(lián)網(wǎng)芯片的開展將是未來需求的主要方向。

青島凈化車間還可以考慮空調(diào)的要求，如室內(nèi)溫濕度的均勻性均和工作人員的舒適性要求。