電子廠凈化車(chē)間應(yīng)該如何采取防靜電措施呢?1.良好的接地系統(tǒng)
為了減少或防止靜電積累的機(jī)會(huì),并為的靜電放電路徑奠定基礎(chǔ),有必要在電子廠的凈化車(chē)間建立良好的靜電接地系統(tǒng)。靜電接地是指具有靜電的物體或可能產(chǎn)生靜電的物體(非絕緣體)與大地之間通過(guò)電導(dǎo)體形成電路,從而使其與大地處于同一電位。其目的是加速靜電的流動(dòng)和泄漏,使帶電物質(zhì)的靜電荷能夠有效而平穩(wěn)地釋放出來(lái),避免靜電積聚。
2.環(huán)境控制
靜電的產(chǎn)生和大小與環(huán)境濕度和空氣中的離子濃度密切相關(guān)。靜電勢(shì)與濕度成反比。同時(shí),與普通場(chǎng)合相比,在空氣較純凈的地方(如電子廠的凈化車(chē)間),空氣中的離子濃度較低,更容易產(chǎn)生靜電。同一動(dòng)作在不同濕度下產(chǎn)生的靜電電壓可以相差一個(gè)數(shù)量級(jí)以上。然而,值得注意的是濕度越高越好。濕度越高,設(shè)備上就越容易結(jié)露。因此,電子廠凈化車(chē)間的濕度應(yīng)控制在合理的范圍內(nèi),如30% ~ 75%。
3.靜電監(jiān)控
盡管高濕度可以將產(chǎn)生的靜電降低到人體無(wú)法觸摸和感知的程度,但它仍然足以損壞敏感部件。正確的概念是高濕度可以抑制靜電的產(chǎn)生,而低濕度則相反。因此,鑒于某些產(chǎn)品組件對(duì)靜電控制的嚴(yán)格要求,電子廠凈化車(chē)間除了采取傳統(tǒng)的靜電防護(hù)措施外,還應(yīng)監(jiān)控和記錄靜電的產(chǎn)生。根據(jù)實(shí)際情況,可以采用防靜電門(mén)禁系統(tǒng)和靜電在線實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)對(duì)靜電進(jìn)行有效的監(jiān)控和記錄。靜電一般來(lái)說(shuō)是“難以看見(jiàn)和感覺(jué)到的”,但它幾乎無(wú)處不在,無(wú)時(shí)不在。因此,電子廠凈化車(chē)間的靜電防護(hù)是一項(xiàng)綜合性的系統(tǒng)工程。原則上,靜電防護(hù)應(yīng)從兩個(gè)方面進(jìn)行:控制靜電的產(chǎn)生和控制靜電的消散。控制靜電的產(chǎn)生主要是為了控制工藝過(guò)程和工藝過(guò)程中材料的選擇,而控制靜電的消散主要是為了快速、地釋放和中和靜電。
凈化車(chē)間的防靜電處理是怎么樣的?首先,從靜電產(chǎn)生的機(jī)理來(lái)看,應(yīng)該從降低有關(guān)物體的絕緣度著手,使兩物體即使摩擦也不產(chǎn)生和少產(chǎn)生靜電,對(duì)此有以下一些主要措施:
方法/步驟
保持環(huán)境有一定的濕度。實(shí)踐證明,北方地區(qū)或在干燥的冬季,因靜電產(chǎn)生故障的事例要遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于在東南沿海地區(qū)或其他季節(jié),所以在一些重要場(chǎng)所,如計(jì)算機(jī)機(jī)房、實(shí)驗(yàn)室、電子儀器的裝調(diào)車(chē)間應(yīng)考慮保持一定濕度的問(wèn)題,特別是對(duì)那些封閉形的空調(diào)房間,更應(yīng)有一定控制濕度的設(shè)備。
鋪設(shè)防靜電地板或地毯。目前已有這種具有一定導(dǎo)電性能的塑料地板或地毯產(chǎn)品,能十分有效抑制由于人的行走產(chǎn)生靜電。
3
使用離子風(fēng)槍、離子頭、離子棒等設(shè)施,使在一定范圍內(nèi)防止靜電產(chǎn)生。
4
半導(dǎo)體器件應(yīng)盛放在防靜電塑料盛放器或防靜電塑料袋中,這種防靜電盛放器有良好導(dǎo)電性能,能有效防止靜電的產(chǎn)生。當(dāng)然,有條件的應(yīng)盛放在金屬盛放器內(nèi)或用金屬箔包裝。
5
對(duì)于操作人員應(yīng)在手腕上帶防靜電手帶,這種手帶應(yīng)有良好的接地性能,這種措施為有效。
靜電的產(chǎn)生在工業(yè)生產(chǎn)中是不可避免的,靜電放電(ESD)造成的危害:
引起電子設(shè)備的故障,造成電磁干擾。擊穿集成電路和精密的電子元件,吸附灰塵,造成集成電路和半導(dǎo)體元件的污染,降低生產(chǎn)成品率。高壓靜電放電造成電擊,危及人身。在易燃易爆品或粉塵、油霧的生產(chǎn)場(chǎng)所極易引起爆炸和火災(zāi)等。
完善有效的防靜電系統(tǒng)工程要依照不同企業(yè)和不同作業(yè)對(duì)象的實(shí)際情況,制定相應(yīng)的對(duì)策和相關(guān)防靜電產(chǎn)品的使用。防靜電措施應(yīng)是系統(tǒng)的、的,否則,可能會(huì)事倍功半,甚至造成破壞性的反作用。
過(guò)去,對(duì)靜電影響的意識(shí)不太明顯,因此不乏出現(xiàn)凈化車(chē)間施工中因靜電造成的不同嚴(yán)重程度的危害。其實(shí),當(dāng)凈化車(chē)間靜電的累積達(dá)到一定程度時(shí),對(duì)凈化工程質(zhì)量、凈化效果、設(shè)備等帶來(lái)很大影響,嚴(yán)重的會(huì)出現(xiàn)爆炸。那么要從凈化車(chē)間施工哪些角度入手,以便做好防靜電措施呢?
1、凈化車(chē)間施工的濕度因根據(jù)地域的不同,來(lái)設(shè)置符合潔凈區(qū)標(biāo)準(zhǔn)的屬性值,并維持在恒定狀態(tài),來(lái)防止靜電的產(chǎn)生。
2、凈化車(chē)間施工的地面材料應(yīng)具防靜電特性,可控制因人員走動(dòng)產(chǎn)生的靜電。
3、凈化車(chē)間施工時(shí),半導(dǎo)體的設(shè)備或零件應(yīng)存放在防靜電的容器中,這樣可以有效防止靜電的產(chǎn)生。
4、凈化車(chē)間施工中可使用防靜電設(shè)備,如離子頭、離子棒等。
5、半導(dǎo)體器件應(yīng)盛放在防靜電塑料容器與塑料袋之中,其一般均會(huì)具有良好導(dǎo)電性能,可有效防止凈化車(chē)間之中靜電的產(chǎn)生。