潔凈廠房也叫無塵車間、潔凈室(Clean Room),是指將一定空間范圍之內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣、等污染物排除,并將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計的房間。亦即是不論外在的空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能具有維持原先所設(shè)定要求的潔凈度、溫濕度及壓力等性能的特性。
潔凈廠房建筑方式可分為土建結(jié)構(gòu)和裝配式兩種,其中普遍采用裝配式。
裝配式潔凈廠房系統(tǒng)主要由初,中,高三級空氣過濾的空調(diào)送風(fēng)回風(fēng)和 排風(fēng)系統(tǒng);動力及照明系統(tǒng);工作環(huán)境參數(shù)的監(jiān)測報警消防和通訊系統(tǒng);人流和物流系統(tǒng);工藝管路系統(tǒng);維護結(jié)構(gòu)及靜電地面處理等各方面所要求的實施內(nèi)容組成,形成空調(diào)凈化系統(tǒng)工程所包含的整個設(shè)備和器材的配套和建筑安裝內(nèi)容。
一般以工業(yè)鋁材(不銹鋼方通、噴塑方通)做框架,采用風(fēng)機濾網(wǎng)機組FFU送風(fēng),四周采用防靜電垂簾,頂部鋪蓋密縫盲板,形成一個密縫區(qū),內(nèi)部凈化級別可達100---10萬級;特別適用于車間內(nèi)局部對潔凈度要求高的區(qū)域,如流水線作業(yè)區(qū)的高度產(chǎn)品組裝區(qū)。
潔凈技術(shù),即玷污控制(Contamination Control)技術(shù)。指的是:對象(產(chǎn)品、人及動物)在被加工、處置、、防護及實驗等過程中,對其所處環(huán)境內(nèi)玷污物(影響對象的加工、處置、等質(zhì)量、合格率或成功率的物質(zhì))進行控制的技術(shù)。
玷污物的污染包含對產(chǎn)品的損害和對人的危害。
污染包含直接污染和交叉污染(醫(yī)療范疇謂之感染)。
人是污染源的發(fā)源地:靜坐時,人體每分鐘散發(fā)10萬個粒子(?!?.5μm);
每天脫落6~13克表皮細(xì)胞,一年脫落人體細(xì)胞約3.5公斤。
半導(dǎo)體潔凈室內(nèi)微污染來源,經(jīng)測試,作業(yè)人員占80% 。