多晶硅硅料回收后的清洗方法,將多晶硅硅料置于混合酸液中進行避光浸泡1分鐘~10分鐘,混合酸液溫度為30℃~35℃,后撈取,用純水沖洗,再經(jīng)超聲沖洗、壓縮空氣鼓泡后烘干;混合酸液為腐蝕液,配比為硝酸∶氫氟酸∶冰乙酸的溶液體積比為57∶18∶25;硝酸濃度為68%~72%,氫氟酸濃度為38%~41%,冰乙酸濃度為99.8%~99.9%;純度等級為MOS級或UP級。將多晶硅硅料置于混合酸液中避光浸泡前,可以在氫氟酸液中進行避光預(yù)浸泡,也可以先在溶解光阻的溶劑中進行避光浸泡。用本方法清洗的多晶硅硅料,表面光潔,無酸漬、水漬,其優(yōu)點為清洗效果好,清洗成本低,操作難度低,易于控制清洗質(zhì)量,提高了清洗收率。
單晶硅的提煉:純度不高的單質(zhì)硅可用金屬鎂或鋁還原二氧化硅制得,但這是無定形硅。晶形硅則要在電弧爐內(nèi)用碳還原二氧化硅制得,它可用來生產(chǎn)硅鋼片。用作半導(dǎo)體的超純硅的制法則是先用純度不高的硅與氯化氫和氯氣的混合物作用,制取三氯氫硅,并用精餾法提純。然后在還原爐內(nèi)用純氫將三氯氫硅還原,硅就沉積在用超純硅制成的細芯上,這樣制得的超純硅稱為多晶硅,把它放在單晶爐內(nèi),就可拉制成單晶硅,可用作半導(dǎo)體材料,它的來源豐富,價格便宜,大部分半導(dǎo)體材料都用硅
從各企業(yè)生產(chǎn)情況看,目前全國在產(chǎn)多晶硅企業(yè)14家,江蘇中能及新特能源仍維持超負荷運行,江蘇中能6.8萬噸/年改良西門子法超載運行,年產(chǎn)量達7.2萬噸左右,正常狀態(tài)下每月產(chǎn)量在6100-6200噸(按31天算)。特變電工進入2016年開始,每月維持在2200噸左右的超負荷生產(chǎn),產(chǎn)量仍居國內(nèi)第二位。洛陽中硅在2015年8月份技改結(jié)束后,產(chǎn)量從9月份開始增加到千噸以上,仍位居國內(nèi)第三。國內(nèi)其他企業(yè)月產(chǎn)量在千噸以上的有:新疆大全、四川永祥、亞洲硅業(yè),這三家企業(yè)在1-2月份期間除四川永祥因電網(wǎng)線路問題影響產(chǎn)量外,其他均正常生產(chǎn)。多晶硅回收找伍征,其余月產(chǎn)量在千噸以下的企業(yè)也有部分在檢修技改,以期在未來淘汰整合過程中贏得先機。
對硅片行業(yè)稍微有些了解的人都應(yīng)該知道,廢硅片回收之后是必須要清洗的,而且我們還要對清洗過程給予必要的重視,不能馬馬虎虎,因為硅片回收清洗的效率將直接影響到器件的成品率、性能和可靠性。下面我們就來了解一下費硅片回收清洗的重要性。
現(xiàn)在人們已研制出了很多種可用于廢硅片回收清洗的工藝方法和技術(shù),常見的有:濕法化學(xué)清 洗、超聲清洗法、兆聲清洗法、鼓泡清洗法、擦洗法、高壓噴射法、離心噴射法、流體力學(xué)法、流體動力學(xué)法、干法清洗、微集射束流法、激光束清洗、冷凝噴霧技 術(shù)、氣相清洗、非浸潤液體噴射法、廢硅片回收在線真空清洗技術(shù)、RCA標(biāo)準(zhǔn)清洗、等離子體清洗、原位水沖洗法等。這些方法和技術(shù)現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于廢硅片回收 加工和器件制造中的廢硅片回收清洗。
表面沾污指硅表面上沉積有粒子、金屬、有機物、濕氣分子和自然氧化物等的一種或幾種。超純表面定義為沒有沾污的表面, 或者是超出檢測量極限的表面。