我司是經(jīng)日本信越化學(xué)侏社授權(quán)在中國大陸銷售信越產(chǎn)品的一級代理商,我司歷經(jīng)幾年的發(fā)展,現(xiàn)在已經(jīng)是國內(nèi)知名的信越代理商。公司主要經(jīng)營信越產(chǎn)品:潤滑脂、導(dǎo)熱硅脂、防指紋納米涂層、納米噴涂設(shè)備、防指紋液、指紋油、熱壓硅膠皮、導(dǎo)熱硅膠片、硅膠熱縮管、導(dǎo)熱硅膠片、防污涂料助劑、信越三防漆、液體氟硅橡膠、護(hù)目鏡塑料基材防霧涂料、納米涂層、氟樹脂、各種蓋板膜類UV固化熱固化涂料等。
油擴(kuò)散泵用硅油
HIVAC F-4, HIVAC F-5
真空裝置的使用范圍隨著各種技術(shù)開發(fā)而急速擴(kuò)大。
例如,電子或金屬加工行業(yè)中的半導(dǎo)體元件、各種集成電路、真空管類、電子部件的制造裝置、金屬、合金類的溶解、加工燒結(jié)裝置、塑料或鍍金行業(yè)中的真空蒙著裝置等的發(fā)展十分顯著,幾乎可以得到高真空度是對這些裝置施加的條件。
一般為了穩(wěn)定高真空,使用油擴(kuò)散泵。擴(kuò)散泵(裝置)的性能隨著真空裝置業(yè)界技術(shù)的進(jìn)步,田一十To“以上超真空裝置的制造也比較容易。因此,可以說油擴(kuò)散泵的性能受使用的油的影響很大。
這些是因為油擴(kuò)散泵的運行溫度在200℃左右,容易引起熱裂紋,在加熱的狀態(tài)下打破真空的話,氧化急速前進(jìn),油變質(zhì),生成分解氣體的同時,焦油附著在噴嘴上。
另外,容易受到吸引氣體的影響,有促進(jìn)分解等構(gòu)造上的缺點。
作為擴(kuò)散泵油的基本性質(zhì),要求如下。
1 )真空特性、穩(wěn)定性
a)分子量200~300
b)室溫下蒸汽壓力低
c)非易失性
d)耐熱、耐酸化性強(qiáng)
2 )使用方便
e)凝固點低
f)即使在低溫下粘度也不太高
g)無腐蝕性
h)性
現(xiàn)在,作為油擴(kuò)散泵油,大量使用石油系和脂肪酸。
1蒸發(fā)潛熱是根據(jù)蒸汽壓力曲線使用Clusius-C1apperon公式計算的值。
HIVACF-4在200℃附近,HIVACF-5根據(jù)250℃附近的數(shù)據(jù)計算。
2 HIVACF-4可能在0℃附近結(jié)晶。這種情況下,加熱工作液溶解后可以再次使用。性能上不允許有差異。
HIVACF-4HIVACF-5因為是耐熱性的硅酮油,所以耐熱性高,耐酸化性好,化學(xué)性穩(wěn)定,幾乎不受吸引氣體的影響等,兼?zhèn)鋽U(kuò)散泵油所需的性質(zhì)
HIVACF-4、F-5的耐熱性和抗氧化性都很好。因此,長時間高溫曝曬也很穩(wěn)定,不會發(fā)生粘度變化
1 蒸發(fā)潛熱是根據(jù)蒸汽壓力曲線使用Clusius-C1apperon公式計算的值。
HIVACF-4在200℃附近,HIVACF-5根據(jù)250℃附近的數(shù)據(jù)計算。
2 HIVACF-4可能在0℃附近結(jié)晶。這種情況下,加熱工作液溶解后可以再次使用。
性能上不允許有差異。
3 硅油的抗輻射性
硅酮油的抗輻射性比二甲基硅酮油更,苯基的含量越多,其穩(wěn)定性就越大。
HIVACF-4、F-5因為含有大量的苯基,所以具有的耐輻射性。
使用油擴(kuò)散泵制作超高真空時
使用擴(kuò)散泵,在室溫下與擴(kuò)散泵油的蒸汽壓力相當(dāng)?shù)?0-8~10。為了得到Torr的超真空,擴(kuò)散泵油的性能是**的原因。
但是,僅僅這樣還不能說足夠。
一般來說,擴(kuò)散泵的到達(dá)壓力由以下公式表示。
P=Po十Eq/S
P:到達(dá)壓力
PO?擴(kuò)散泵油蒸氣的分壓
2千·燃?xì)庠春嫌?/p>
S?擴(kuò)散泵的排氣速度
?關(guān)于擴(kuò)散泵油
擴(kuò)散泵油的分壓本來應(yīng)該是擴(kuò)散泵油的蒸汽壓力,但是也有以低沸雜質(zhì)、熱分解物為主的情況。希望擴(kuò)散泵油的純度高,耐熱性好。
據(jù)說工作初期擴(kuò)散泵油的逆流特別多。另外,真空系統(tǒng)內(nèi)壁吸附的氣體、擴(kuò)散泵等會對到達(dá)壓力產(chǎn)生惡劣影響。
因此,通過加熱除去這些氣體是有效的。
另外,作為泵主體真空系統(tǒng)的內(nèi)壁、密封墊等也需要預(yù)先充分清洗。另外,qi有以下幾種。
a)氣體的反擴(kuò)散
b)從泵內(nèi)壁、構(gòu)成部件等排出的氣體
c)通過容器壁、墊圈的氣體透過及泄露
因此,為了改善到達(dá)壓力,*好將PO+q/S減到*少。
使用一般擴(kuò)散泵的排氣裝置在這一點上采取了各種各樣的對策,這里表示實際處理擴(kuò)散泵時的問題。
?關(guān)于泄露
泄露會對到達(dá)壓力產(chǎn)生不良影響。發(fā)現(xiàn)泄露需要相當(dāng)?shù)氖炀殹?/p>
特別是金屬草圖的話,需要小心。另外,如果是有機(jī)橡膠系的草圖,由于氣體透過而導(dǎo)致的漏氣也有可能無法忽視,請充分注意。