通過(guò)上面的介紹,我們?cè)谑┕び不仄簳r(shí),非常有必要用地坪拋光液進(jìn)行拋光,因?yàn)榈仄簰伖庖翰粏螁沃皇翘岣叩仄旱墓鉂啥龋€能提高地面抗?jié)B、防塵、抗污保潔的功能,讓地坪更有質(zhì)感的同時(shí),也能更好的對(duì)地面進(jìn)行養(yǎng)護(hù)。可以說(shuō)硬化地坪使用拋光液進(jìn)行拋光并非畫(huà)蛇添足而是錦上添花,讓硬化地坪的效果更上一層樓!
A.巴西蠟乳液
「巴西蠟乳液」即「巴西棕櫚蠟乳液」,是以巴西棕櫚蠟為主要原料,采用先進(jìn)乳化技術(shù)生產(chǎn)的高技術(shù)含量產(chǎn)品?!赴臀飨炄橐骸寡匾u了棕櫚蠟高光的特性,是一種粒徑較小的水性及溶劑型助劑,常用于制作各種上光劑,具有手感滑爽、光澤度好、抗磨等性能。巴西蠟乳液是支撐地坪拋光液效用的主要材料,在產(chǎn)品設(shè)計(jì)中起到提亮增亮的作用。
化學(xué)機(jī)械拋光
這兩個(gè)概念主要出半導(dǎo)體加工過(guò)程中,初的半導(dǎo)體基片(襯底片)拋光沿用機(jī)械拋光、例如氧化鎂、氧化鋯拋光等,但是得到的晶片表面損傷是極其嚴(yán)重的。直到60年代末,一種新的拋光技術(shù)——化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)(CMP Chemical Mechanical Polishing )取代了舊的方法。CMP技術(shù)綜合了化學(xué)和機(jī)械拋光的優(yōu)勢(shì):?jiǎn)渭兊幕瘜W(xué)拋光,拋光速率較快,表面光潔度高,損傷低,平整性好,但表面平整度和平行度差,拋光后表面一致性差;單純的機(jī)械拋光表面一致性好,表面平整度高,但表面光潔度差,損傷層深?;瘜W(xué)機(jī)械拋光可以獲得較為平整的表面,又可以得到較高的拋光速率,得到的平整度比其他方法高兩個(gè)數(shù)量級(jí),是能夠?qū)崿F(xiàn)全局平面化的有效方法。
(2)拋光表面反應(yīng)物脫離硅單晶表面,即解吸過(guò)程使未反應(yīng)的硅單晶重新裸露出來(lái)的動(dòng)力學(xué)過(guò)程。它是控制拋光速率的另一個(gè)重要過(guò)程。
硅片的化學(xué)機(jī)械拋光過(guò)程是以化學(xué)反應(yīng)為主的機(jī)械拋光過(guò)程,要獲得質(zhì)量好的拋光片,必須使拋光過(guò)程中的化學(xué)腐蝕作用與機(jī)械磨削作用達(dá)到一種平衡。如果化學(xué)腐蝕作用大于機(jī)械拋光作用,則拋光片表面產(chǎn)生腐蝕坑、桔皮狀波紋。如果機(jī)械磨削作用大于化學(xué)腐蝕作用,則表面產(chǎn)生高損傷層。