一、地坪拋光液的概述:
生產(chǎn)的濃縮型滲透光亮劑,是采用了源自德國(guó)的特種高分子材料,極其耐用,可以抗磨損、防刮傷、防刻劃的功能,用途非常廣泛,可用于水泥制品、大理石、水磨石、耐磨骨料等為基礎(chǔ)表面拋光。它的特點(diǎn)就是滲入地坪,在干燥的過(guò)程中和混凝土粘結(jié)在一起,干燥后經(jīng)過(guò)物理拋光,能賦予地坪超亮的光澤的同時(shí),還能提高表面的防水、防塵、抗污保潔和抗磨性能。
二、地坪拋光液的適用范圍:
金剛砂耐磨地坪、混凝土密封固化地坪、水磨石地坪、大理石等產(chǎn)品的表面拋光之用。
拋光液是由多種化工溶液配制而成的溶液,它在拋光工藝中有重要的地位,合理選擇拋光液,能使加工出來(lái)的工件表面光亮美觀,色澤鮮艷,光亮奪目,還可以防止工件的銹蝕,保持與提高工件表面的光澤,起到清潔工件與磨具的作用。去除油污,軟化工件表面以加速磨消,減少磨具對(duì)工件的沖擊,改善工件條件。它具有,無(wú)腐蝕,不易變質(zhì)等性能。
拋光液的種類很多,應(yīng)根據(jù)加工條件來(lái)選擇。在光整效率,工作的研磨質(zhì)量,拋光的光潔度等方面。拋光液都顯示出其獨(dú)特的效果。
(2)拋光表面反應(yīng)物脫離硅單晶表面,即解吸過(guò)程使未反應(yīng)的硅單晶重新裸露出來(lái)的動(dòng)力學(xué)過(guò)程。它是控制拋光速率的另一個(gè)重要過(guò)程。
硅片的化學(xué)機(jī)械拋光過(guò)程是以化學(xué)反應(yīng)為主的機(jī)械拋光過(guò)程,要獲得質(zhì)量好的拋光片,必須使拋光過(guò)程中的化學(xué)腐蝕作用與機(jī)械磨削作用達(dá)到一種平衡。如果化學(xué)腐蝕作用大于機(jī)械拋光作用,則拋光片表面產(chǎn)生腐蝕坑、桔皮狀波紋。如果機(jī)械磨削作用大于化學(xué)腐蝕作用,則表面產(chǎn)生高損傷層。
拋光液的主要產(chǎn)品可以按主要成分的不同分為以下幾大類:金剛石拋光液(多晶金剛石拋光液、單晶金剛石拋光液和納米金剛石拋光液)、氧化硅拋光液(即CMP拋光液)、氧化鈰拋光液、氧化鋁拋光液和碳化硅拋光液等幾類。
多晶金剛石拋光液以多晶金剛石微粉為主要成分,配合高分散性配方,可以在保持高切削率的同時(shí)不易對(duì)研磨材質(zhì)產(chǎn)生劃傷。
主要應(yīng)用于藍(lán)寶石襯底的研磨、LED芯片的背部減薄、光學(xué)晶體以及硬盤磁頭等的研磨和拋光。
氧化硅拋光液(CMP拋光液)是以高純硅粉為原料,經(jīng)特殊工藝生產(chǎn)的一種高純度低金屬離子型拋光產(chǎn)品。
廣泛用于多種材料納米級(jí)的高平坦化拋光,如:硅晶圓片、鍺片、化合物半導(dǎo)體材料砷化鎵、磷化銦,精密光學(xué)器件、藍(lán)寶石片等的拋光加工。