這三項負荷之和一般占總負荷的70%~95%。因此,凈化空調系統(tǒng)節(jié)能措施應從減少新風量(減少排風量);控制送風量(合理確定換氣次數(shù));充分利用回風量;選擇低阻力率的空調和凈化設備和可變風量的風機等入手。
潔凈環(huán)境是為生產工藝服務的,潔凈室設計必須滿足生產工藝的環(huán)境要求,這是理所當然的。因此,在潔凈室設計時生產工藝對環(huán)境參數(shù)的要求應該實事求是,其面積、層高,溫度、濕度,潔凈度等應該該高則高,該低則低,并非越高越好。在不影響生產工藝正常運行的前提下盡可能地降低參數(shù)要求,控制凈化面積,縮小高凈化級別潔凈區(qū)的范圍,嚴格控制100級和更高級別單向流潔凈區(qū)的面積。 [3]
潔凈車間,亦稱潔凈室、無塵車間、無塵室或清凈室。潔凈室的主要功能為室內污染控制,沒有潔凈室,污染敏感零件不可能批量生產。在FED-STD-2里面,潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當?shù)奈⒘崈舳燃墑e。
玷污物的污染包含對產品的損害和對人的危害。
污染包含直接污染和交叉污染(醫(yī)療范疇謂之感染)。
人是污染源的發(fā)源地:靜坐時,人體每分鐘散發(fā)10萬個粒子(?!?.5μm);
每天脫落6~13克表皮細胞,一年脫落人體細胞約3.5公斤。
半導體潔凈室內微污染來源,經測試,作業(yè)人員占80% 。