CMP拋光液利用“軟磨硬”的原理很好的實(shí)現(xiàn)了藍(lán)寶石表面的精密拋光。隨著LED行業(yè)的快速發(fā)展,聚晶金剛石研磨液及二氧化硅溶膠拋光液的需求也與日俱增。
多晶金剛石研磨液是利用多晶金剛石良好的韌性制成的研磨液,在研磨拋光過程中能夠保持高磨削力的同時不易產(chǎn)生劃傷,為后續(xù)精密拋光加工提供了良好的條件。廣泛用于光學(xué)晶體、陶瓷、超硬合金等各種硬質(zhì)材料的研磨和拋光
這兩個概念主要出半導(dǎo)體加工過程中,初的半導(dǎo)體基片(襯底片)拋光沿用機(jī)械拋光、例如氧化鎂、氧化鋯拋光等,但是得到的晶片表面損傷是極其嚴(yán)重的。直到60年代末,一種新的拋光技術(shù)——化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)(CMP Chemical Mechanical Polishing )取代了舊的方法。
硅片的化學(xué)機(jī)械拋光過程是以化學(xué)反應(yīng)為主的機(jī)械拋光過程,要獲得質(zhì)量好的拋光片,必須使拋光過程中的化學(xué)腐蝕作用與機(jī)械磨削作用達(dá)到一種平衡。如果化學(xué)腐蝕作用大于機(jī)械拋光作用,則拋光片表面產(chǎn)生腐蝕坑、桔皮狀波紋。如果機(jī)械磨削作用大于化學(xué)腐蝕作用,則表面產(chǎn)生高損傷層。
如果說打蠟是代車漆護(hù)理品,那么封釉可以說是第二代,車漆鍍膜就是第三代的漆面護(hù)理技術(shù)了,即在車漆表面再涂鍍一層硬度高、彈性好、抗氧化的保護(hù)膜。記者在一家美容店又聽到了另一種聲音,“其實(shí)我的封釉就是鍍鏌的一種,同樣的道理,在車漆表面再涂鍍一層?!逼嚸廊菁紟熃榻B,雖然在這些名稱上有區(qū)分,但原理還是一樣,只是所用的材料及達(dá)到的效果不同而已。
新車買了之后就去封釉,可以留住車漆的艷麗、光彩永駐;舊車做封釉可以使氧化褪色的車漆還原增艷,頗有翻新的效果。車展上的樣車大多都經(jīng)過了封釉處理,因此看起來晶瑩剔透,光彩照人,所以車想要保護(hù)好自己的車,給自己的車長久的光彩,封釉是一個不錯的方法。
一些制樣技術(shù)對金剛石拋光劑的要求更高, 并且對一種特殊的制樣方法確切知道需要何種金剛石拋光劑是非常必要的。 對試樣的要求高意味對研磨劑要進(jìn)行臨界選擇(多晶的金剛石, P) 但是只要一個可接受的試樣,使用價格便宜的金剛石產(chǎn)品(單晶金剛石, M)就足夠了。制樣時選擇金剛石產(chǎn)品,制樣的質(zhì)量、時間和成本都必須綜合起來考慮。
金剛石晶粒大小的分布與各晶粒大小之間的差距應(yīng)盡可能的小,這是非常重要的。 因?yàn)槿绻趻伖鈩┲写嬖趩蝹€的金剛石大晶粒,那么試樣表面由它們形成的劃痕將無法在后道工序中消除。 反之,晶粒太小又不利于試樣的磨削。因此,控制粒度分布在金剛石產(chǎn)品的生產(chǎn)中是非常重要的。