它是一種緊湊且低成本的膜厚計(jì),可以通過(guò)高精度光學(xué)干涉法輕松測(cè)量膜厚。
我們采用了一體式外殼,將必要的設(shè)備容納在主體中,從而實(shí)現(xiàn)了穩(wěn)定的數(shù)據(jù)采集。
支持從薄膜到厚膜的各種膜厚
使用反射光譜進(jìn)行膜厚分析
緊湊且價(jià)格低廉,實(shí)現(xiàn)了非接觸,無(wú)破壞的高精度測(cè)量
簡(jiǎn)單的條件設(shè)置和測(cè)量操作!任何人都可以輕松測(cè)量薄膜厚度
使用峰谷法,頻率分析法,非線性小二乘法,優(yōu)化法等,可以進(jìn)行多種膜厚測(cè)量。
通過(guò)非線性小二乘法的膜厚分析算法,可以進(jìn)行光學(xué)常數(shù)分析(n:折射率,k:消光計(jì)數(shù))。
測(cè)量項(xiàng)目
反射率測(cè)量
膜厚分析(10層)
光學(xué)常數(shù)分析(n:折射率,k:消光計(jì)數(shù))
測(cè)量目標(biāo)
功能膜,塑料
透明導(dǎo)電膜(ITO,銀納米線),相位差膜,偏光膜,AR膜,PET,PEN,TAC,PP,PC,PE,PVA,膠粘劑,膠粘劑,保護(hù)膜,硬質(zhì)大衣,防指紋等
半導(dǎo)體
化合物半導(dǎo)體,硅,氧化膜,氮化膜,抗蝕劑,SiC,GaAs,GaN,InP,InGaAs,SOI,藍(lán)寶石等。
表面處理
DLC涂層,防銹劑,防霧劑等
光學(xué)材料
濾鏡,增透膜等
FPD
LCD(CF,ITO,LC,PI),OLED(有機(jī)膜,密封劑)等
其他
硬盤,磁帶,建筑材料等
技術(shù)指標(biāo)
類型薄膜類型標(biāo)準(zhǔn)型測(cè)量波長(zhǎng)范圍300-800納米450-780納米測(cè)量膜厚范圍
(SiO2換算)3納米至35微米10nm-35μm光斑直徑φ3mm/φ1.2mm樣本量φ200×5(高)mm測(cè)量時(shí)間在0.1-10秒內(nèi)電源供應(yīng)AC100V±10%300VA尺寸,重量280(寬)x 570(深)x 350(高)mm,24公斤其他參考板,配方創(chuàng)建服務(wù)