氧化硅拋光液(CMP拋光液)是以高純硅粉為原料,經(jīng)特殊工藝生產(chǎn)的一種高純度低金屬離子型拋光產(chǎn)品。
廣泛用于多種材料納米級的高平坦化拋光,如:硅晶圓片、鍺片、化合物半導(dǎo)體材料砷化鎵、磷化銦,精密光學器件、藍寶石片等的拋光加工。
水磨石拋光液其以造價低廉,形狀顏色可控,施工方便等優(yōu)點,廣泛應(yīng)用于公共場所及生產(chǎn)車間、倉庫廠房、教室等,然而,由于目前施工技術(shù)沿用舊式方法的粗糙打磨,加上水磨石粗磨后毛細孔的粗大,易藏污納垢,易被磨損和各種水性、油性污漬滲透,導(dǎo)致表面風化剝離,起塵,出現(xiàn)細小孔洞和污染。就算定期清洗上蠟也不能根本上解決問題。
多晶金剛石拋光液
多晶金剛石拋光液以多晶金剛石微粉為主要成分,配合高分散性配方,可以在保持高切削率的同時不易對研磨材質(zhì)產(chǎn)生劃傷。主要應(yīng)用于藍寶石襯底的研磨、LED芯片的背部減薄、光學晶體以及硬盤磁頭等的研磨和拋光。
拋光粉通常由氧化鈰、氧化鋁、氧化硅、氧化鐵、氧化鋯、氧化鉻等組份組成。不同的材料的硬度不同,在水中的化學性質(zhì)也不同,因此使用場合各不相同。通常,氧化鈰拋光粉用于玻璃和含硅材料的拋光,氧化鋁拋光粉用于不銹鋼的拋光,氧化鐵也可用于玻璃,但速度較慢,常用于軟性材料的拋光。石材的拋光常使用氧化錫,瓷磚的拋光常使用氧化鉻。
氧化硅拋光液(CMP拋光液)是以高純硅粉為原料,經(jīng)特殊工藝生產(chǎn)的一種高純度低金屬離子型拋光產(chǎn)品。
廣泛用于多種材料納米級的高平坦化拋光,如:硅晶圓片、鍺片、化合物半導(dǎo)體材料砷化鎵、磷化銦,精密光學器件、藍寶石片等的拋光加工。