多晶金剛石拋光液多晶金剛石拋光液以多晶金剛石微粉為主要成分,配合高分散性配方,可以在保持高切削率的同時(shí)不易對(duì)研磨材質(zhì)產(chǎn)生劃傷。主要應(yīng)用于藍(lán)寶石襯底的研磨、LED芯片的背部減薄、光學(xué)晶體以及硬盤磁頭等的研磨和拋光。
氧化鈰拋光液
氧化鈰拋光液是以微米或亞微米級(jí)CeO2為磨料的氧化鈰研磨液,該研磨液具有分散性好、粒度細(xì)、粒度分布均勻、硬度適中等特點(diǎn)。
適用于高精密光學(xué)儀器,光學(xué)鏡頭,微晶玻璃基板,晶體表面、集成電路光掩模等方面的精密拋光。
水磨石拋光液其以造價(jià)低廉,形狀顏色可控,施工方便等優(yōu)點(diǎn),廣泛應(yīng)用于公共場(chǎng)所及生產(chǎn)車間、倉(cāng)庫(kù)廠房、教室等,然而,由于目前施工技術(shù)沿用舊式方法的粗糙打磨,加上水磨石粗磨后毛細(xì)孔的粗大,易藏污納垢,易被磨損和各種水性、油性污漬滲透,導(dǎo)致表面風(fēng)化剝離,起塵,出現(xiàn)細(xì)小孔洞和污染。就算定期清洗上蠟也不能根本上解決問(wèn)題。
氧化硅拋光液(CMP拋光液)是以高純硅粉為原料,經(jīng)特殊工藝生產(chǎn)的一種高純度低金屬離子型拋光產(chǎn)品。
廣泛用于多種材料納米級(jí)的高平坦化拋光,如:硅晶圓片、鍺片、化合物半導(dǎo)體材料砷化鎵、磷化銦,精密光學(xué)器件、藍(lán)寶石片等的拋光加工。