異物分析是通過對產(chǎn)品中出現(xiàn)的異物雜質或未知物進行成分分析，借此尋找和追蹤異物產(chǎn)生的原因和來源并進而避免異物的產(chǎn)生。

現(xiàn)在行業(yè)內(nèi)異物分析測試涉及三個方面。

一是表面觀察，主要用光學顯微鏡(OM）和電子顯微鏡(SEM)等；

二是異物的大多數(shù)有機物結構和部分無機結構分析，主要用傅里葉變換紅外光譜儀 (FTIR)；

三是異物或材料表面的元素成分分析，主要用電子探針X射線微區(qū)分析(EPMA)、掃描電子顯微鏡/能譜儀(SEM/EDS)和X射線光電子能譜分析(XPS)等。