全球半導(dǎo)體行業(yè)穩(wěn)定向好,中國(guó)市場(chǎng)如火如荼也帶動(dòng)了整個(gè)潔凈室產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。綜合來(lái)看,三因素決定我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的高速發(fā)展:
1)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體銷售占比和增速遠(yuǎn)高于全球平均水平,半導(dǎo)體市場(chǎng)消費(fèi)基數(shù)維持高位。
2)我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備支出占比小增速快,設(shè)備市場(chǎng)增長(zhǎng)空間大。
3)半導(dǎo)體貿(mào)易逆差持續(xù)維持1,600億美元高位,“進(jìn)口替代”大勢(shì)所趨。
1. 亂流型:空氣從空調(diào)箱通過(guò)風(fēng)道和潔凈室內(nèi)的空氣濾清器進(jìn)入潔凈室,再?gòu)臐崈羰覂蓚?cè)的隔斷墻板或高架地面回風(fēng)。氣流是非線性的,存在不規(guī)則的湍流或渦流。適用于1000-100000級(jí)潔凈室。
優(yōu)點(diǎn):結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,系統(tǒng)連接成本低,潔凈室擴(kuò)展簡(jiǎn)單。在一些特殊的使用場(chǎng)所,可采用無(wú)塵操作平臺(tái)來(lái)提高潔凈室的檔次。
缺點(diǎn):室內(nèi)空間內(nèi)亂流形成的粉塵顆粒不易排出,容易污染生產(chǎn)產(chǎn)品。此外,如果系統(tǒng)暫停和重新,將需要很長(zhǎng)時(shí)間才能達(dá)到所需的清潔。
電池能源凈化工程
眾所周知,粉塵、水分、金屬顆粒等是鋰電池電芯制造的天敵。在鋰電池電芯生產(chǎn)過(guò)程中,過(guò)多的水分進(jìn)入到鋰電池內(nèi),會(huì)對(duì)鋰電池的性能造成嚴(yán)重的影響,甚至可能引發(fā)爆炸:而空氣中的粉塵,進(jìn)入到鋰電池生產(chǎn)工藝中也可能造成鋰電池在使用過(guò)程中短路的現(xiàn)象;因此,鋰電池電芯制造需要嚴(yán)格“避開(kāi)”空氣中的水分和粉塵。
鋰電池生產(chǎn)環(huán)境的有效控制,對(duì)鋰電池質(zhì)量的提升有著重要的作用。對(duì)生產(chǎn)車間進(jìn)行的除塵、除濕和凈化成為每一家電池企業(yè)必不可少的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。電池企業(yè)對(duì)生產(chǎn)車間的除塵、除濕和凈化的要求也越來(lái)越高。
事實(shí)上,同樣的廠房面積和產(chǎn)能規(guī)劃,在除塵、除濕和凈化以及節(jié)能效率方面需要請(qǐng)專業(yè)廠家提供解決方案。其中,相同的控制要求,效率越高費(fèi)用則越高,但效果也更明顯。
電子光學(xué)凈化工程
1、凈化廠房墻材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板,頂板多采用50mm厚的硅巖板其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。角與角之前的拼接選用圓弧連接宜清潔,潔凈地板要求
2、地坪:可采用2mm/3mm環(huán)氧樹(shù)脂或是PVC地坪,電子廠房選用防靜電地坪
3、送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
4、送風(fēng)口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。
凈化參數(shù):換氣次數(shù):100000級(jí)≥15次;10000級(jí)≥20次;1000≥30次。
壓差:主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa平均風(fēng)速:10級(jí)、100級(jí)0.3-0.5m/s;
溫度: 冬季>16℃;夏季濕度:45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。噪聲≤65dB(A);新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10%-30%;照度300LX