全球半導體行業(yè)穩(wěn)定向好,中國市場如火如荼也帶動了整個潔凈室產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。綜合來看,三因素決定我國半導體行業(yè)的高速發(fā)展:

1)國內(nèi)半導體銷售占比和增速遠高于全球平均水平,半導體市場消費基數(shù)維持高位。

2)我國半導體設備支出占比小增速快,設備市場增長空間大。

3)半導體貿(mào)易逆差持續(xù)維持1,600億美元高位,“進口替代”大勢所趨。

層流:層流氣流沿均勻的直線運動。空氣通過覆蓋率為的過濾器進入室內(nèi)，再通過兩側(cè)升高的地板或隔斷板返回室內(nèi)。適用于潔凈室等級要求高的環(huán)境。一般來說，潔凈室的等級是1-100。它可以分為兩種類型:

(1)水平層流型:水平氣流由過濾器向一個方向吹出，由對面壁上的回風系統(tǒng)回流，粉塵隨風排出房間。一般來說，污染是嚴重的。

優(yōu)點:結(jié)構(gòu)簡單，運行后短時間內(nèi)穩(wěn)定。

缺點:創(chuàng)造成本高于紊流型，室內(nèi)空間不易擴展。

(2)直線型層流型:房間的天花板全部被ULPA過濾器覆蓋，空氣從上到下吹，清潔度更高。在不影響其他操作區(qū)域的情況下，可快速將操作過程中或操作人員產(chǎn)生的粉塵排出房間。

優(yōu)點:管理簡單，運行初期狀態(tài)穩(wěn)定，不容易受到運行狀態(tài)或操作人員的影響。

缺點:結(jié)構(gòu)造價高，彈性空間難以使用，吊架占用空間合適，維修更換過濾器麻煩。

自動控制設備保證了整個調(diào)節(jié)過程

凈化工程中空調(diào)系統(tǒng)的空氣濾清器阻力隨運行時間的增加而增大。為了保持風量，系統(tǒng)中的氣閥需要調(diào)整。凈化工程統(tǒng)一調(diào)試啟動系統(tǒng)時，為了使風機空載啟動，需要關閉風機出口的氣閥。風機啟動后，由于空氣閥上的壓力，很難打開。在凈化工程中，選用空氣過濾器前后壓差的變化來控制風機的變頻調(diào)速設備，供氣量的調(diào)節(jié)會變得非常容易，供氣壓力也會變得穩(wěn)定。

電話和消防設備是必不可少的

在凈化工程中設置電話、對講電話，減少人們在潔凈區(qū)行走，減少灰塵量，火災時及時與外界接觸，為正常的操作接觸創(chuàng)造條件。此外，在清潔工程中還應設置火災報警系統(tǒng)，以避免火災造成的不易被外界發(fā)現(xiàn)的嚴重經(jīng)濟損失。

怎樣做到電子無塵車間的清潔衛(wèi)生？(1)清潔潔凈室墻面時，清潔工程室無塵布應使用。

(2)用90%去離子水和10%異丙醇制備洗滌劑。

(3)使用經(jīng)批準的凈化工程潔凈室專用去污劑。

(4)每天對無塵車間的垃圾箱及配備的房間進行檢查并及時清理。

(5)每層樓都要吸塵。并在《無塵車間清潔記錄》上注明工作完成情況。例如，從哪里開始，從哪里結(jié)束。

(6)清潔無塵凈化工程潔凈室地面時，應先關閉凈化系統(tǒng)，并將專用拖把用于無塵凈化室應使用。

(7)帶過濾器應使用的專用真空吸塵器，用于潔凈室除塵。

(8)潔凈室所有門窗應進行清潔和保養(yǎng)。

(9)潔凈室應每天吸塵、拖地;墻壁、門窗應每周清潔一次。

(10)無塵車間也應真空吸塵并在抬高的地板下擦拭。

(11)電子無塵車間每三個月清潔一次架空地面下的立柱及支撐立柱。

(12)在潔凈室工作時，要始終記得從上往下擦拭，從離門遠的地方往門的方向擦拭。