潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒服感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。
具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來(lái)越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過(guò)25度。
凈化工作臺(tái)原理的潔凈環(huán)境是在特定的空間內(nèi)，潔凈空氣(進(jìn)濾空氣)按設(shè)定的方向流動(dòng)而形成的。以氣流方向來(lái)分，現(xiàn)有的超凈工作臺(tái)可分為垂直式，由內(nèi)向外式以及側(cè)向式。從操作質(zhì)量和對(duì)環(huán)境的影響來(lái)考慮，以垂直式較優(yōu)越。由供氣濾板提供的潔凈空氣以一個(gè)特定的速度下降通過(guò)操作區(qū)，在大約操作區(qū)的中間分開(kāi)，由前端空氣吸入孔和后吸氣窗吸走，在操作區(qū)下部前后部吸入的空氣混合在一起，并由鼓風(fēng)機(jī)泵入后正壓區(qū)，在機(jī)器的上部，30的氣體通過(guò)排氣濾板從頂部排出，大約70的氣體通過(guò)供氧濾板重新進(jìn)入操作區(qū)。為補(bǔ)充排氣口排出的空氣，同體積的空氣通過(guò)操作口從房間空氣中得到補(bǔ)充。這些空氣不會(huì)進(jìn)入操作區(qū)，只是形成一個(gè)空氣屏障。
進(jìn)出潔凈室的管理
⒈進(jìn)入潔凈室的人員應(yīng)嚴(yán)格要求執(zhí)行人身凈化制度、路線和順 序。退出潔凈室時(shí)，按如上順序、路線進(jìn)行，不允許將潔凈用品帶至門廳。
⒉若有吹淋室，按規(guī)定進(jìn)行吹淋后,方可進(jìn)入潔凈室內(nèi)。同時(shí)，嚴(yán)格按照風(fēng)淋室的規(guī)格和使用要求，控制每次進(jìn)入風(fēng)淋室風(fēng)淋的人數(shù)，不允許正在風(fēng)淋室強(qiáng)行關(guān)閉運(yùn)行風(fēng)機(jī)或電源。一般經(jīng)過(guò)風(fēng)淋，人身表面散發(fā)的灰塵粒子數(shù)減少40—60 。
⒊為不干擾室內(nèi)的潔凈氣流型式，在作業(yè)區(qū)側(cè)不應(yīng)放置物品，回風(fēng)口附近不要堆放物;送風(fēng)孔板下不應(yīng)堵塞和堆放物品，生產(chǎn)操作應(yīng)在潔凈工作臺(tái)或氣流的上游進(jìn)行。
⒋不允許將與生產(chǎn)無(wú)關(guān)的和容易產(chǎn)塵的物品帶入潔凈室內(nèi)。
⒌嚴(yán)禁在潔凈室內(nèi)吸煙、飲食和進(jìn)行非生產(chǎn)性活動(dòng)。
⒍進(jìn)入潔凈室前，個(gè)人物品須放入指定的柜子，去掉化妝和首飾，換上指定的潔凈服、鞋。
⒎戴帽時(shí)，應(yīng)將頭發(fā)全部遮住，鞋套應(yīng)將褲腳下擺緊緊裹在鞋套。
⒏脫潔凈工作服時(shí)，要避免工作服觸及地面、桌子與其它物品，一般要由下至上脫去工作服，并存放在柜內(nèi)或掛在規(guī)定的處所。
⒐退出潔凈室時(shí)，在更衣區(qū)前不允許脫掉潔凈工作服;脫去工作服后若再進(jìn)入潔凈室內(nèi)，仍需按進(jìn)入潔凈室的規(guī)定順序進(jìn)行。
⒑退出潔凈室時(shí)，可以不需要經(jīng)過(guò)空氣吹淋而進(jìn)入更換區(qū)域。
潔凈室
對(duì)生物潔凈室，除對(duì)送入潔凈室的空氣中的生物或非生物微粒數(shù)要受到控制，還要對(duì)室內(nèi)器具、地面、墻面、壁板等表面進(jìn)行處理。空氣潔凈技術(shù)不能殺滅，生物潔凈室運(yùn)行管理中采取、措施，減少微生物在潔凈室中的生存、繁衍。
目前，傳統(tǒng)方法為：紫外線、藥劑、加熱和臭氧法。它們可靠性都很好，應(yīng)用為廣泛。
另外，整個(gè)被的潔凈室應(yīng)通過(guò)送回風(fēng)管形成循環(huán)狀態(tài)，每天開(kāi)機(jī)做空氣1—1.5小時(shí);若需對(duì)潔凈室墻體、地面和設(shè)備等表面進(jìn)行則需2小時(shí)左右。