濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當相對濕度低于30時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)佳溫度范圍為35—45。

靜電問題所以在潔凈室中特別嚴重，是因為不但在潔凈室中具備前述產(chǎn)生靜電的多種工藝因素，而且因為潔凈室中的許多材料如塑料地面、墻面，尼龍、的確良等工作服都有很高的電阻率，都易產(chǎn)生靜電和集聚靜電，在潔凈室的靜電災害未被重視以前，這些材料料是被廣泛采用的。

無塵車間風管的組對、連接長度應根據(jù)現(xiàn)場的施工現(xiàn)場的情況和吊裝設備而進行確定。無塵車間風管連接采用的密封材料應滿足系統(tǒng)功能的技術(shù)條件。

例如，防、排煙系統(tǒng)或輸送溫度高于70℃的空氣或煙氣的無塵車間，應采用耐熱橡膠板或不燃的耐溫、防火材料；輸送含有腐蝕介質(zhì)的氣體，應采用耐酸橡膠板或軟聚氯乙烯板。

無塵車間風管安裝就位的程序通常為先上層后下層，先主干管后支管，先立管后水平管。就位時應注意，例如：采用吊裝組對無塵車間風管時，應加強表面的保護，注意吊點受力，保證吊裝穩(wěn)定、和無塵車間風管不產(chǎn)生扭曲、彎曲變形等，必要時應采取防止變形的措施。