潔凈車(chē)間潔凈程度和控制污染的持續(xù)穩(wěn)定性，是檢驗(yàn)潔凈室質(zhì)量的核心標(biāo)準(zhǔn)，該標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)區(qū)域環(huán)境、凈化程度等因素，分為若干等級(jí)，常用的有國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)和國(guó)內(nèi)區(qū)域行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，一些知名凈化工程公司，在通行標(biāo)準(zhǔn)之外，還設(shè)有自身執(zhí)行的高于國(guó)際化通行標(biāo)準(zhǔn)的凈化指標(biāo)，凈化能力和環(huán)境適應(yīng)力遠(yuǎn)超國(guó)際品牌。

潔凈技術(shù)，即玷污控制(Contamination Control)技術(shù)。指的是：對(duì)象(產(chǎn)品、人及動(dòng)物)在被加工、處置、、防護(hù)及實(shí)驗(yàn)等過(guò)程中，對(duì)其所處環(huán)境內(nèi)玷污物(影響對(duì)象的加工、處置、等質(zhì)量、合格率或成功率的物質(zhì))進(jìn)行控制的技術(shù)。 玷污物的污染包含對(duì)產(chǎn)品的損害和對(duì)人的危害。 污染包含直接污染和交叉污染(醫(yī)療范疇謂之感染)。 人是污染源的發(fā)源地：靜坐時(shí)，人體每分鐘散發(fā)10萬(wàn)個(gè)粒子(?！?.5μm); 每天脫落6～13克表皮細(xì)胞，一年脫落人體細(xì)胞約3.5公斤。 半導(dǎo)體潔凈室內(nèi)微污染來(lái)源，經(jīng)測(cè)試，作業(yè)人員占80% 。

通過(guò)對(duì)較大固體、粉塵顆粒在前段進(jìn)行徹底的攔截，大大地減輕了后端多級(jí)過(guò)濾的壓力。二次過(guò)濾氣相攔截：高壓碰撞離心分離攔截液相霧氣。 高壓碰撞技術(shù)：氣溶膠 粒子被粗效過(guò)濾件收集，細(xì)小的顆粒有逐級(jí)濾材完成。

車(chē)間凈化工作原理為當(dāng)控制器接通電源時(shí)，油霧分離器口產(chǎn)生強(qiáng)大的靜壓迫使油霧被定向吸入油霧分離器內(nèi)。在油霧分離器內(nèi)風(fēng)輪的作用下發(fā)生碰撞，使微小的顆粒集合成能被控制的小顆粒，在吸霧材料的阻擋下實(shí)現(xiàn)空氣與水的分離。