潔凈車間，亦稱潔凈室、無塵車間、無塵室或清凈室。潔凈室的主要功能為室內(nèi)污染控制，沒有潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在FED-STD-2里面，潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。

潔凈技術(shù)，即玷污控制(Contamination Control)技術(shù)。指的是：對(duì)象(產(chǎn)品、人及動(dòng)物)在被加工、處置、、防護(hù)及實(shí)驗(yàn)等過程中，對(duì)其所處環(huán)境內(nèi)玷污物(影響對(duì)象的加工、處置、等質(zhì)量、合格率或成功率的物質(zhì))進(jìn)行控制的技術(shù)。

玷污物的污染包含對(duì)產(chǎn)品的損害和對(duì)人的危害。

污染包含直接污染和交叉污染(醫(yī)療范疇謂之感染)。

人是污染源的發(fā)源地：靜坐時(shí)，人體每分鐘散發(fā)10萬個(gè)粒子(?！?.5μm);

每天脫落6～13克表皮細(xì)胞，一年脫落人體細(xì)胞約3.5公斤。

半導(dǎo)體潔凈室內(nèi)微污染來源，經(jīng)測(cè)試，作業(yè)人員占80% 。

結(jié)構(gòu)材料

1.凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造

2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級(jí)耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。

3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。

4.送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔

離心分離攔截液相霧 氣：在氣流中由不同的工作件定向收集介質(zhì)對(duì)象，不同的介質(zhì)選用合適的過濾結(jié)構(gòu)和材質(zhì)。

個(gè)性濾網(wǎng)攔截氣溶膠粒子：在氣流結(jié)構(gòu)方面改良固有結(jié)構(gòu)減少阻力提率。各風(fēng)道口表面選用美國(guó)杜邦公司生產(chǎn)的F4進(jìn)行處理，使機(jī)器過濾精度高壽命長(zhǎng)。