利用特制的高能UV光束照射惡臭氣體、有機氣體，裂解惡臭氣體、有機氣體如：氨、三甲胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOCs類，苯、甲苯、二甲苯的分子鍵， 同時空氣中的氧分子被分解成游離氧，即活性氧，因游離氧不穩(wěn)定需與氧分子結(jié)合，產(chǎn)生臭氧。UV＋O2→O-+O＊(活性氧) O＊+O2→O3(臭氧),臭氧對有機物具有極強的氧化作用，再通過臭氧對惡臭氣體進行協(xié)同分解氧化反應(yīng)，使呈游離狀態(tài)的單分子被臭氧氧化結(jié)合成小分子無害或低害的化合物，如CO2、H2O等。

另外，高能UV紫外線光束裂解氣體中的分子鍵，破壞的核酸（DNA），再通過臭氧氧化，徹底達到脫臭及的目的。