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中國半導體設(shè)備現(xiàn)狀

半導體設(shè)備具備的門檻和壁壘，全球半導體設(shè)備主要被日美所壟斷，核心設(shè)備如光刻、刻蝕、PVD、CVD、氧化/擴散等設(shè)備的 top3 市占率普遍在90%以上。目前光刻機、刻蝕、鍍膜、量測、清洗、離子注入等核心設(shè)備的國產(chǎn)率普遍較低。經(jīng)過多年培育，國產(chǎn)半導體設(shè)備已經(jīng)取得較大進展，整體水平達到 28nm，并在 14nm 和7nm 實現(xiàn)了部分設(shè)備的突破。具體來講，28nm 的刻蝕機、薄膜沉積設(shè)備、氧化擴散爐、清洗設(shè)備和離子注入機 已經(jīng)實現(xiàn)量產(chǎn);14nm 的硅/金屬刻蝕機、薄膜沉積設(shè)備、單片退火設(shè)備和清洗設(shè)備 已經(jīng)開發(fā)成功。8 英寸的 CMP 設(shè)備也已在客戶端進行驗證;7nm 的介質(zhì)刻蝕機已 被中微半導體開發(fā)成功;上海微電子已經(jīng)實現(xiàn) 90nm 光刻機的國產(chǎn)化。在中低端制程，國產(chǎn)化率有望得到顯著提升，先進制程產(chǎn)線為保證產(chǎn)品良率，目前仍將以采購海外設(shè)備為主。

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