R116（六氟乙烷，C2F6）可用于一種具多功能的蝕刻技術，常見于半導體之生產。它可用于金屬硅化物及金屬氧化物并相對其金屬基質的選擇性蝕刻。叧外，它亦用于蝕刻硅上的二氧化硅。

名稱：R116、FC-116

中文名稱：六氟乙烷，電子級氟碳，全氟乙烷，氟里昂116

英文全稱：hexafluoroethane

化學分子式：CF3CF3、C2F6

分子量:138

標準沸點：-78℃

臨界溫度:20℃

臨界壓力：3MPa（絕壓）

臨界密度：0.613g/cm3

CAS編號：76-16-4

常用冷媒：R22，R134a，R410a，R404a，R407c，R12，R417，R507；

制冷級清洗劑、發(fā)泡劑：R123，R141b，R142b，R245fa；

超低溫冷媒：R13，R14，R23，R508B；

碳氫制冷劑：R290，R600a，R170，R1270，R50，R1150；

稀有制冷劑：R116，R124，R1234yf，R1234ze，R245cb等；

另提供壓縮機配套冷凍油咨詢和銷售服務：太陽3/4GS，CP-4214-320，冰熊（有利凱瑪）RL32/68H；以及以下機組原裝冷凍油：出光、約克、開利、特靈、漢鐘、復盛、比澤爾等。

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常規(guī)制冷劑一般為中溫或高溫制冷，其溫度不會低于-50度。針對特殊要求，

超低溫制冷劑則一般可以達到-80度或-80度以下。這類制冷劑低溫高壓，技術復雜。