粉體懸浮性:好的粉要求拋光粉要有較好的懸浮性,粉體的形狀和粒度大小對懸浮性能具有一定的影響,片形及粒度細(xì)些的拋光粉的懸浮性相對的要好一些,但不是決對的。拋光粉懸浮性能的提高也可通過加懸浮液(劑)來改善。
固體-終固化
環(huán)氧混合物達到固化變成固體階段,這時能砂磨及整型。這時你用大拇指已壓不動它,在這時環(huán)氧樹脂約有90%的終反應(yīng)強度,因此可以除去固定夾件,將它放在室溫下維持若干天使它繼續(xù)固化。
這時新使用的環(huán)氧樹脂不能與它進行化學(xué)鏈接,因為該環(huán)氧表面必須適當(dāng)?shù)剡M行預(yù)處理如打磨,才能得到好的粘接機械強度。
氧化硅拋光液
氧化硅拋光液(CMP拋光液)是以高純硅粉為原料,經(jīng)特殊工藝生產(chǎn)的一種高純度低金屬離子型拋光產(chǎn)品。
廣泛用于多種材料納米級的高平坦化拋光,如:硅晶圓片、鍺片、化合物半導(dǎo)體材料砷化鎵、磷化銦,精密光學(xué)器件、藍寶石片等的拋光加工。
粉末顆粒有一定的晶格形態(tài),破碎時形成銳利的尖角,以提高拋光效率;粉體的晶型是團聚在一起的單 晶顆粒,決定了粉體的切削性、耐磨性及流動性。粉體團聚在一起的單晶顆粒在拋光過程中分離(破碎),使其切削性、耐磨性逐漸下降,顆粒為球型的拋光粉具有良好的切削性、耐磨性和流動性。