NF3氣體在高能化學(xué)激光、電子工業(yè)(IC)以及太陽能光電產(chǎn)業(yè)等方面具有非常廣泛的應(yīng)用。目前，黎明院擁有一條年產(chǎn)500噸的NF3生產(chǎn)線，其生產(chǎn)工藝、設(shè)備均處于國內(nèi)領(lǐng) 先地位。

主要用途：

NF3的三個主要用途，一是用作高能化學(xué)激光的氟源，二是作為電子工業(yè)(IC)中的蝕刻劑、清洗劑，三是應(yīng)用于太陽能光電產(chǎn)業(yè)。

NF3其它用途：生產(chǎn)全氟銨鹽，用作填充氣體以增加燈泡的壽命和亮度，在采礦和火箭技術(shù)中用作氧化劑等。

物化性質(zhì)：

NF3在室溫和大氣壓力下是無色、穩(wěn)定和有毒的氣體。相對分子質(zhì)量為71.002，沸點(diǎn)為-129.06℃。

NF3在室溫下較穩(wěn)定，但在800~1200℃下發(fā)生猛烈分解；NF3是一種有潛力的氧化劑，特別是在約200℃時，其反應(yīng)性與氧相當(dāng)；NF3在與其它元素反應(yīng)時主要用作氟化劑；NF3在常溫下不與水、稀酸和稀堿溶液反應(yīng)，但在100℃下與堿性溶液接觸時會緩慢水解生成亞硝酸鹽及氟化物，在電火花作用下，NF3可與水猛烈反應(yīng)；NF3與H2或氫化物可快速反應(yīng)并放出大量的熱，該反應(yīng)是NF3用于高能化學(xué)激光器的基礎(chǔ)；NF3可與有機(jī)物作用，但通常需升高溫度以引發(fā)反應(yīng)，因而常常發(fā)生爆炸；在低于70℃時NF3氣體對普通金屬不腐蝕，因此可用鋼、不銹鋼、鎳、銅和鋁等材料制作相關(guān)設(shè)備。

數(shù)據(jù)：

NF3是一種有毒、不可燃的壓縮氣體；

無氣味，但其中所含的雜質(zhì)使它聞起來有發(fā)霉的氣味；

暴露極限： OSHA: PEL=10ppm. ACGIH: TWA/TLV=10ppm. NIOSH: 1000ppm.當(dāng)進(jìn)入濃度超過暴露極限的泄方區(qū)時需配備自給式呼吸器(SCBA)；

氧化劑，會引起或促進(jìn)金屬和非金屬物質(zhì)的燃燒，特別是溫度超過200℃時；燃燒產(chǎn)物有毒；

使用NF3的任何系統(tǒng)都不應(yīng)有油、油脂和其它有機(jī)物；

存儲于鋼瓶中，壓力小于1500psig，盛裝NF3的氣瓶不允許在高于52℃的環(huán)境下使用、貯存和運(yùn)輸。

包裝規(guī)格：

包裝：高壓無縫碳鋼鋼瓶

包裝規(guī)格：47L國標(biāo)或DOT瓶、470L Y瓶等。

黎明院生產(chǎn)現(xiàn)狀：

黎明院現(xiàn)有一套年產(chǎn)500噸的三氟化氮生產(chǎn)線，以生產(chǎn)4N以上規(guī)格的產(chǎn)品為主，并可提供GB/T 21287-2007指標(biāo)中其它規(guī)格產(chǎn)品。

2008年，黎明院NF3產(chǎn)品通過了臺灣某著 名企業(yè)嚴(yán)格的清洗蝕刻試驗(yàn)，完全能夠滿足其生產(chǎn)需要，已進(jìn)行了批量采購，目前反饋的使用報(bào)告表明黎明院NF3產(chǎn)品質(zhì)量良好，并確定黎明化工研究院為NF3氣體合格供應(yīng)商。

2009年黎明院NF3生產(chǎn)工藝、質(zhì)量控制、分析方法及產(chǎn)品質(zhì)量通過了日本某著 名氣體廠商的仔細(xì)考察與嚴(yán)格檢驗(yàn)，氣體檢測結(jié)果表明，黎明院的NF3產(chǎn)品質(zhì)量已達(dá)到國際先進(jìn)水平，隨即與黎明院簽署長期合作協(xié)議，開始批量采購。

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