SJ 20744—1999半導(dǎo)體材料雜質(zhì)含量紅外吸收光譜分析通用導(dǎo)則

雜質(zhì)檢測(cè)

適用范圍：

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半導(dǎo)體材料中雜質(zhì)含量的紅外吸收分析方法的術(shù)語(yǔ)、基本原理、儀器 設(shè)備、樣品制備、測(cè)量條件、測(cè)量步驟和測(cè)量結(jié)果的計(jì)算。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于在紅外光譜區(qū)為透明的并在該區(qū)域產(chǎn)生雜質(zhì)吸收帶的任何半導(dǎo)體單晶材料紅外分析方法。

差示法：

將基本上不含所測(cè)雜質(zhì)并與未知試樣具有基本相同厚度和同樣表面質(zhì)量基體材料的晶片，放入光譜儀參照光路中，消除由于迭加以及反射、散射損失以及晶格吸收產(chǎn)生干擾的一種測(cè)量方法。

空氣參比法：

當(dāng)無(wú)迭加帶干擾被測(cè)定雜質(zhì)的吸收帶時(shí)，光譜儀參照光路中使用空氣的一種參比方法。

材料：

a.氟化鋇(BaF2)適用于0.13?12μm波長(zhǎng)范圍，不溶于水，但對(duì)機(jī)械及熱的沖擊反 應(yīng)靈敏；

b.氟化鈣（CaF2)適用于0.18?10μm波長(zhǎng)范圍，不溶于水，耐酸、機(jī)械強(qiáng)度高；

c. 碘化銫（CsI)適用于0.24?55 μm波長(zhǎng)范圍，適用波長(zhǎng)范圍寬，溶解于水及乙 醇，質(zhì)地軟，極易吸潮、且價(jià)格昂貴；

d.溴化鉀（KBr)適用于0.25?30μm波長(zhǎng)范圍，溶解于水，稍溶于乙醇、機(jī)械強(qiáng) 度好，成本低且易拋光，是通用的窗口材料；

e.氯化鈉（NaCl)適用于0.25?15μm波長(zhǎng)范圍，溶解于水，微溶于乙醇、機(jī)械強(qiáng)度高；氯化鉀（KCl)適用于0.21?30μm波長(zhǎng)范圍，類似于NaCl,但溶解度較小，有較寬的透射范圍。

測(cè)試報(bào)告：

測(cè)試報(bào)告應(yīng)包括如下內(nèi)容：

a.試樣來(lái)源及編號(hào)；

b.所用測(cè)量方法；

c.所用測(cè)量?jī)x器及選用參數(shù)；

d.操作者及測(cè)量單位；

e.雜質(zhì)含量;

f.測(cè)量曰期。