單向流潔凈室一般有兩種類型，即水平流和垂直流。在水平流系統(tǒng)中，氣流是從一面墻流向另一面墻。在垂直流系統(tǒng)中，氣流是從吊頂流向地面。對要求潔凈室的懸浮粒子濃度或微生物濃度更低的場合，就使用單向氣流。以前稱這類潔凈室為“層流”潔凈室。單向流和層流的名稱均說明了其氣流的狀況：氣流以一個方向流動（或是垂直的或是水平的），并以一般是0.3米/秒至0.5米/秒（60英尺/分鐘至100英尺/分鐘）的均速流過整個空間。由滿布潔凈室吊頂?shù)倪^濾器向室內(nèi)送風。氣流有如一個空氣活塞，向下流經(jīng)室內(nèi)，帶走污染物，然后從地面排出。又在與外部的一些新鮮空氣混合后，再循環(huán)至過濾器。

潔凈室中的氣流速度規(guī)定

這里要討論的氣流速度是指潔凈室內(nèi)的氣流速度，在其他潔凈空間中的氣流速度在討論具體設備時再說明。

對于亂流潔凈室 由于主主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內(nèi)污染的程度，所以主要用換氣次數(shù)這一概念，而不直接用速度的概念，不過對室內(nèi)氣流速度也有如下要求；

(1)送風口出口氣流速度不宜太大，和單純空調(diào)房間相比，要求速度衰減更快，擴散角度更大。

(2)吹過水平面的氣流速度（例如側送時回流速度）不宜太大，以免吹起表面微粒重返氣流，而造成再污染，這一速度一般不宜大干0.2m/s。

對于平行流潔凈室《習慣上稱層流潔凈室，由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染，所以截面上的速度就是非常重要的指標。過去都參考美國20gB標準，采用0.45m/s．但人們也都了解到這樣大速度所需要的通風量是極大的，為了節(jié)能，也都在探求降低風速的可行性。

凈化工程的設計過程中，應加強對光學微電子行業(yè)凈化工程設計方案分析了解,根據(jù)該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程，并結合其具體的生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據(jù)該工程的具體情況，同時還要考慮到生產(chǎn)廠家的經(jīng)濟承受能力，綜合各種因素來確定采用何種凈化方案，這樣才可設計出一個能滿足甲方生產(chǎn)使用要求、工程造價合理、經(jīng)濟節(jié)能實用的方案。

凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應采用初效、中效、空氣過濾器三級過濾。100000級空氣凈化處理，可采用亞空氣過濾器代空氣過濾器。

空氣過濾器的選用布置和安裝方式，應符合：初效空氣過濾器不應選用浸油式過濾器；中效空氣過濾器宜集中設置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的正壓段；空氣過濾器或亞空氣過濾器宜設置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)末端，空氣過濾的安裝方式應簡便可靠，宜檢漏和更換；中效、亞、空氣過濾器宜按額定風量選用；阻力、效率相近的空氣過濾器宜設置在同一凈化車間內(nèi)。