建筑布局和裝修方案：是潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物實(shí)驗(yàn)室運(yùn)行的基礎(chǔ)。由于微生物病菌的危險(xiǎn)性，必須防止危險(xiǎn)性微生物向外界擴(kuò)散，地阻斷危險(xiǎn)性微生物與外部環(huán)境的接觸途徑，同時(shí)避免微生物受外界污染，影響實(shí)驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性，必須采取合理的實(shí)驗(yàn)室布局和裝修方案。實(shí)驗(yàn)室布局按照要求合理地劃分成清潔區(qū)、半污染區(qū)和污染區(qū)，采用人與物分別設(shè)置專用通道，設(shè)置必要的緩沖間，采用一次隔離和二次隔離等措施，能有效的避免交叉污染，從根本上防止危險(xiǎn)性微生物的擴(kuò)散;實(shí)驗(yàn)室裝修采用可靠的材料，合理的施工措施，保證潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物實(shí)驗(yàn)室始終處于相對(duì)密封的環(huán)境，防止微生物的外逸，易于實(shí)驗(yàn)室的清潔，同時(shí)避免外部對(duì)實(shí)驗(yàn)室環(huán)境的破壞。

檢測(cè)方案：是潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物實(shí)驗(yàn)室長(zhǎng)期運(yùn)行的保證。由于潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物實(shí)驗(yàn)室的特殊性，除了進(jìn)行嚴(yán)格的設(shè)計(jì)、施工、調(diào)試外，為確保其性，必須對(duì)其進(jìn)行必要的工程檢測(cè)和嚴(yán)格的驗(yàn)收，達(dá)到要求和使用要求后才可投入運(yùn)行。另外，使用過(guò)程中的一些因素，如非專業(yè)的管理和使用，過(guò)濾器的更換等，都會(huì)對(duì)實(shí)驗(yàn)室的性產(chǎn)生影響，因此，使用中的定期檢測(cè)與同樣重要。

無(wú)塵車間里存在大量可以節(jié)約能源的地方，例如暖氣、通風(fēng)和空調(diào)（HVAC）、工藝?yán)鋮s、壓縮空氣以及一些其他的設(shè)施。 HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過(guò)了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費(fèi)電力及HVAC的容量過(guò)剩，很大程度上是因?yàn)樵谠O(shè)計(jì)和建造工廠時(shí)走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運(yùn)行費(fèi)用。率的設(shè)計(jì)和率設(shè)備需要很大的前期投入。那種“小處節(jié)約大處浪費(fèi)”的所謂捷徑和削減成本，會(huì)造成工廠的運(yùn)行性能降低和能耗增加。 對(duì)已建成工廠的改建通常會(huì)陷入到毫無(wú)意義的經(jīng)濟(jì)漩渦當(dāng)中

潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來(lái)越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。