無塵車間內(nèi)的潔凈工作臺可根據(jù)產(chǎn)品要求或其他用途的要求，在操作臺上保持高潔凈度的局部凈化。潔凈工作臺可以在操作臺的局部空間形成無菌、無塵的局部凈化，其主要組成部件有預(yù)過濾器、過濾器、風(fēng)機(jī)機(jī)組、外殼、靜壓箱、臺面和配套的電器元器件等。無塵車間的潔凈工作臺的構(gòu)造要求：臺面，采用木質(zhì)塑料貼面貼于層壓板上做成臺面，或采用不銹鋼做臺面；箱體，用熱扎薄鋼板與骨架氣焊易變形，可采用冷軋薄板折邊搭接，大電流電焊，內(nèi)表面需粘貼消聲材料，尺寸應(yīng)以通過一般房門為宜；箱體密封，所有縫隙均采用密封膠密封；操作區(qū)截面應(yīng)盡可能與空氣過濾器送風(fēng)截面相同，盡量減少盲區(qū)；風(fēng)機(jī)、電機(jī)，選用高壓低噪的小型風(fēng)機(jī)，風(fēng)機(jī)與箱體的連接采用軟連接，電機(jī)及風(fēng)機(jī)均應(yīng)采取減振措施；燈罩，日光燈要盡量設(shè)置在燈罩內(nèi)，燈罩內(nèi)要通過潔凈氣流；預(yù)過濾器，須設(shè)置預(yù)過濾器，容量要大，在使用風(fēng)量下，初阻力宜小于50Pa；過濾器，盡量采用大面積的過濾器，減少空氣過濾器的數(shù)量，過濾器與框架之間的密封應(yīng)采用封導(dǎo)結(jié)合的雙環(huán)密封系統(tǒng)。

潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。

潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。

潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。

壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個新風(fēng)量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。

采用高壓靜電吸附除塵工作原理。靜電式是采用高壓靜電吸附除塵的工作原理。靜電場中的陰極線在高壓靜電的作用下，電暈層中產(chǎn)生大量的負(fù)離子，負(fù)離子在靜電場的作用下，不斷地向陽極運動。當(dāng)空氣中粉塵通過電場時，粉塵受到負(fù)離子的碰撞帶上電荷，帶上電荷后的粉塵同樣受到靜電場的作用，向陽極（集塵極）運動，到達(dá)陽極后釋放電荷。 缺點：可去除飄塵（不能去除毒害氣體），效能比機(jī)械式低、慢，而且易產(chǎn)生臭氧，此機(jī)型被美國市場評為差凈化器。