半導(dǎo)體類設(shè)備搬遷是明通“設(shè)備搬遷”產(chǎn)品的一個(gè)細(xì)分類別,因其生產(chǎn)廠家多、品種發(fā)展快,致設(shè)備門(mén)類及型號(hào)較多,可包括:晶圓清洗設(shè)備、熱處理設(shè)備、離子注入設(shè)備、PVD(物相沉積)設(shè)備、光刻設(shè)備、涂布/顯影設(shè)備、刻蝕/去膠/灰化設(shè)備、CMP(化學(xué)機(jī)械拋光)設(shè)備/電鍍系統(tǒng)設(shè)備、半導(dǎo)體工藝用石墨元件等不同類別設(shè)備及器材等,凡以上設(shè)備器材納入重型物流工程項(xiàng)目的,統(tǒng)稱為半導(dǎo)體類設(shè)備搬遷