電子級六氟化鎢：用于半導體產業(yè)中晶圓生產過程的外延片的鎢沉積。

近年來，黎明院電子級六氟化硫、三氟化氮、四氟化碳、六氟化鎢等含氟特種氣體的研發(fā)也取得了豐碩成果，其中自主研發(fā)的處于國際先進水平的新型電解技術可實現(xiàn)直接一步反應生產三氟化氮，其產品指標達到國際先進水平。超高純六氟化硫、四氟化碳的研發(fā)列入國家重大專項課題“02專項”， 重點開發(fā)滿足半導體集成電路領域使用的更高純度含氟電子氣體。

2016年6月，黎明院建設的1000噸/年三氟化氮項目，建成并達到設計能力，黎明院成為中國第二大三氟化氮生產商，二期1000噸/年正實施中。該項目實現(xiàn)技術與市場的強強聯(lián)合……

2016年4月，黎明院獲批設立含氟電子氣體河南省工程實驗室，將實現(xiàn)主要含氟電子氣體產品的國產化，建成在國際上有一定影響力的含氟電子化學品創(chuàng)新平臺，開展技術研究、成果轉化和技術輻射，為集成電路、平面顯示器件、半導體器件、太陽能電池等電子工業(yè)發(fā)展提供強力支撐。

未來幾年，黎明院繼續(xù)加大研發(fā)和產業(yè)化力度，肩負起電子氣體材料國產化的重擔，逐步由生產商向國內的生產+綜合氣體供應商轉型發(fā)展，滿足國內外相關領域發(fā)展的需求。

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