電子級六氟化鎢：用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中晶圓生產(chǎn)過程的外延片的鎢沉積。

近年來，黎明院電子級六氟化硫、三氟化氮、四氟化碳、六氟化鎢等含氟特種氣體的研發(fā)也取得了豐碩成果，其中自主研發(fā)的處于國際先進(jìn)水平的新型電解技術(shù)可實(shí)現(xiàn)直接一步反應(yīng)生產(chǎn)三氟化氮，其產(chǎn)品指標(biāo)達(dá)到國際先進(jìn)水平。超高純六氟化硫、四氟化碳的研發(fā)列入國家重大專項(xiàng)課題“02專項(xiàng)”， 重點(diǎn)開發(fā)滿足半導(dǎo)體集成電路領(lǐng)域使用的更高純度含氟電子氣體。

2016年6月，黎明院建設(shè)的1000噸/年三氟化氮項(xiàng)目，建成并達(dá)到設(shè)計(jì)能力，黎明院成為中國第二大三氟化氮生產(chǎn)商，二期1000噸/年正實(shí)施中。該項(xiàng)目實(shí)現(xiàn)技術(shù)與市場的強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合……

2016年4月，黎明院獲批設(shè)立含氟電子氣體河南省工程實(shí)驗(yàn)室，將實(shí)現(xiàn)主要含氟電子氣體產(chǎn)品的國產(chǎn)化，建成在國際上有一定影響力的含氟電子化學(xué)品創(chuàng)新平臺，開展技術(shù)研究、成果轉(zhuǎn)化和技術(shù)輻射，為集成電路、平面顯示器件、半導(dǎo)體器件、太陽能電池等電子工業(yè)發(fā)展提供強(qiáng)力支撐。

未來幾年，黎明院繼續(xù)加大研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化力度，肩負(fù)起電子氣體材料國產(chǎn)化的重?fù)?dān)，逐步由生產(chǎn)商向國內(nèi)的生產(chǎn)+綜合氣體供應(yīng)商轉(zhuǎn)型發(fā)展，滿足國內(nèi)外相關(guān)領(lǐng)域發(fā)展的需求。

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