硅單晶紅外濾光片具有良好的紅外光譜特性以及物理性能,目前已經(jīng)廣泛的在紅外傳感器濾光片主要采用單晶硅為基片,通過在基片上交替鍍制不同折射率和厚度的材料薄膜,使基材具有長波通、短波通,帶通,增透,反射等光學(xué)功能。
本公司專業(yè)提供的光學(xué)級(jí)單晶硅具有波長定位準(zhǔn)確、透過高、截止深、溫飄小、耐用性好、光潔度好等特點(diǎn),參數(shù)可按客戶要求定制。
產(chǎn)品規(guī)格說明:
外形尺寸
2"; 3"; 4"; 6"; 8”~12"
可定制
導(dǎo)電類型
N型/ P型、本征(不摻雜)
客戶要求
直徑
50~300mm
厚度
200 -1000 μm
可定制
常規(guī)厚度
Dia50.8 X 400μm, Dia76.2 X 400μm
Dia100 X 500μm,Dia200 X 725μm
Dia300 X 775μm
厚度誤差
±10μm
平整度(TIR)
< 3 μm
翹曲度(BOW)
≤15μm
TTV
≤10μm
電阻率
0.0001-10000 (Ω·cm)
客戶要求
碳含量
≤5.0 × 1016atoms/cc
氧含量
≤1.0 ×1018atoms/cc
晶向
〈100〉± 2;〈110〉± 2;〈111〉± 2
少子壽命
≥15μs
位錯(cuò)密度
3 X 103/cm2
級(jí)別
光學(xué)級(jí);太陽能級(jí);IC級(jí)
客戶要求
類型
研磨片,單拋片,雙拋,
客戶要求
熱氧化,氮化,鍍金,鍍鉑