高純六氟化硫就是產品純度已達99.999％(5N)。黎明院是國內首 家研究開發(fā)六氟化硫生產工藝的單位，取得數(shù)十項技術研究及革新成果，在制氟及六氟化硫生產行業(yè)的綜合技術實力達到了國內領 先水平，產品質量達到國際先進水平，部分技術已處于領 先水平。產品質量完全達到了LCD、TFT等生產工藝的需要。逐年隨著客戶的增多，目前已形成年產500噸的生產能力，并銷往美國、韓國、臺灣等國家和地區(qū)，在同行業(yè)處于領 先地位。產品特性分子量 146.06，常態(tài)下是一種無色、無臭、、不燃、無腐蝕性的氣態(tài)物質，化學穩(wěn)定性強，近年來高純六氟化硫（99.999％)在電子行業(yè)的應用發(fā)展迅速，是優(yōu)良的蝕刻氣體。應用領域高純六氟化硫在微電子行業(yè)中的應用，主要可作為優(yōu)良的蝕刻氣體，在光導纖維制造中，可作為單膜光纖隔離層摻添劑，還可作為重要的激光材料用在激光技術中。去年，黎明院高純六氟化硫產品已經通過了中國臺灣某著 名企業(yè)的嚴格檢測清洗和蝕刻試驗，反饋的檢測報告表明該院產品完全符合“5N”指標，產品質量達到國際先進水平，其中某些指標還領 先于美、日、韓等國企業(yè)的高純六氟化硫產品，這種認可在國內特氣生產企業(yè)中尚屬首 家。逐年隨著客戶的增多，目前已形成年產500噸的生產能力，并銷往美國、韓國、臺灣等國家和地區(qū)，在同行業(yè)處于領 先地位。

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