威海凈化工程裝修超凈室的配備要求

威海凈化工程裝修超凈室的配備要求，超凈室各項功能的配備均以滿足各項工藝要求為前提,具備以下特點:

(1) 在潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)隔離口設(shè)有"TJ -1"型單人定時冷熱風(fēng)淋室,它是工作人員進入超凈室的凈化關(guān)口。

(2) 在非潔凈區(qū)設(shè)有更衣室,操作人員更換防靜電潔凈服后才可進入超凈室。

(3) 設(shè)有室內(nèi)對外器件、物品傳遞窗。

(4) 室內(nèi)面積達24m2 ,其工作潔凈度達1000 級,在局部2m2 的光刻工藝區(qū)、凈化工作臺以及凈化涂膠機,工作潔凈度達100 級。

(5) 室內(nèi)用于顯影及清洗器件的高純水,是由設(shè)在室外的潔凈水循環(huán)系統(tǒng)引入,該系統(tǒng)以去離子水為原水,經(jīng)精密過濾、紫外線及離子交換,極大提高了水質(zhì)純度,其輸出水質(zhì)電阻率≥15MΩ。

(6) 在工作人員健康保障方面,超凈室設(shè)有空調(diào)、凈化排風(fēng)系統(tǒng)。涂膠臺及電鍍腐蝕工作臺設(shè)置了獨立的對外排風(fēng)系統(tǒng),從而也降低了環(huán)境污染?？照{(diào)系統(tǒng)保障了室內(nèi)濕度≤60 % ,工作溫度保持18 ℃-25 ℃。室內(nèi)循環(huán)凈化送風(fēng)系統(tǒng)以及光刻工作區(qū)層流罩循環(huán)凈化系統(tǒng)為室內(nèi)潔凈度提供了保障。

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