微小氣體流量計，小口徑氣體流量計，小流量氣體流量計，微型氣體流量計，廣東微小氣體質(zhì)量流量計，，廣州微型氣體流量計

產(chǎn)品簡介：

FS4001系列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。獨特的封裝技術(shù)使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。

產(chǎn)品特點：

- 傳感器靈敏度高,有極小的始動流量

- 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計量,無需溫度壓力補償,保證了傳

- 感器的高精度計量

- 在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大提高

- 傳感器的零點穩(wěn)定度高

- 全量程高穩(wěn)定性

- 全量程高度和優(yōu)良的重復(fù)性

- 低功耗

- 低壓損

- 響應(yīng)時間快

主要參數(shù)：

性能參數(shù)

FS4001

單位

通 徑

1.0

1.8

mm

流量

30, 100, 200

500, 1000

SLPM

量程比

>100：1

精 度

±(1.5+0.2FS)

%

重復(fù)性

0.25

%讀數(shù)

零點輸出飄移

±30

mV

輸出飄移

±0.12

%/oC

響應(yīng)時間

4, 8, 16, 33 , 65 , 131

mses

工作電源