在硅片切割工藝中我們需要面對多項挑戰(zhàn),主要聚焦于線鋸的生產(chǎn)力,也就是單位時間內(nèi)生產(chǎn)的硅片數(shù)量。
生產(chǎn)力取決于以下幾個因素:
1) 切割線直徑
更細的切割線意味著更低的截口損失,也就是說同一個硅塊可以生產(chǎn)更多的硅片。然而,切割線更細更容易斷裂。
2) 荷載
每次切割的總面積,等于硅片面積X每次切割的硅塊數(shù)量X每個硅塊所切割成的硅片數(shù)量 。
3) 切割速度
切割臺通過切割線切割網(wǎng)的速度,這在很大程度上取決于切割線運動速度,馬達功率和切割線拉力。
4) 易于維護性
線鋸在切割之間需要更換切割線和研磨漿,維護的速度越快,總體的生產(chǎn)力就越高。
生產(chǎn)商必須平衡這些相關(guān)的因素使生產(chǎn)力達到化。更高的切割速度和更大的荷載將會加大切割切割線的拉力,增加切割線斷裂的風險。由于同一硅塊上所有硅片是同時被切割的,只要有一條切割線斷裂,所有部分切割的硅片都不得不丟棄。 然而,使用更粗更牢固的切割線也并不可取,這會減少每次切割所生產(chǎn)的硅片數(shù)量,并增加硅原料的消耗量。
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