產(chǎn)品簡(jiǎn)介

OWT-200采用PHYS獨(dú)有技術(shù)，對(duì)透明、半透明、不透明幾乎所有的材料的厚度，TTV，LTV,彎曲度，平整

度進(jìn)行無(wú)接觸測(cè)量，其對(duì)透明、半透明材料的高精度測(cè)量的性價(jià)比在同類測(cè)試儀器中是無(wú)可比擬的。

特征

無(wú)接觸無(wú)損傷測(cè)量

高度及重復(fù)性

測(cè)量材料范圍廣，透明、半透明、不透明幾乎所有材料的

厚度/彎曲度/平整度/LTV/TTV

抗干擾強(qiáng)，穩(wěn)定性好

強(qiáng)大的工控機(jī)控制和大屏幕顯示

一體化設(shè)計(jì)操作更方便，系統(tǒng)穩(wěn)定

為晶圓硅片關(guān)鍵生產(chǎn)工藝提供的無(wú)接觸測(cè)量

超高測(cè)試速度

技術(shù)指標(biāo)

測(cè)試尺寸：50mm-200mm.

厚度測(cè)試范圍：1000 um，可擴(kuò)展到1700 um

厚度測(cè)試精度：+/-0.1um

厚度重復(fù)性精度：0.050um

TTV 測(cè)試精度: +/-0.1um

TTV重復(fù)性精度: 0.01um

Warp/Bow精度: 0.2um

Warp/Bow重復(fù)度: 0.5um

測(cè)量時(shí)間: 材料：透明、半透明、不透明幾乎所有的材料

尺寸: 560X650X400mm

電源：220V 50HZ 300W

主要客戶：歐洲、美洲、臺(tái)灣等地區(qū)藍(lán)寶石生產(chǎn)企業(yè)

詳情歡迎來(lái)電咨詢：

北京合能陽(yáng)光新能源技術(shù)有限公司

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